AFM / SPM (原子 間 力 顕 微鏡 / 走 査 型 プ ロ ー ブ 顕 微鏡)

原子 間 力 顕 微鏡 (AFM) 分析 は 、 表面 ト ポ グ ラ フ ィ ー を 測定 す る た め の 原子 に 近 い 解像度 の 画像 を 提 微 徛 し ま す。 AFM は 、 走 査査 査査 査査 査 型 析 ま す。 。 AFM 분별은, 표면의 영상을 표적으로 축소 할 수 있으며, 스탭의 高 さ や 他 の 寸 法 등, 피챠 사이즈의 정정도 가능합니다.

定量 分析検 出 感 度化学 結合 状態破 壊 測定空間 分解 能 / 빔 径深 さ 分解 能
아니-아니아니1.5-5nm0.01nm

SPM (Scanning Probe Microscopy : 走 査 型 ブ ロ ー ブ 顕 微鏡) は 、 先 鋭 な 探針 (프로브)의 선생, 선생의 선생, 試 料 微 探探 料 微鏡で あ る 試 料 表面 の 凹凸 形状 を は じ め 、 磁 気 、 摩擦 な ど の 様 々 な 物理 情報 の 3 次 元 の 画像 擦 報 と し て 得 る こ と の 得 る こ と の 画像 報 の 画像 報 の 画像 報 の 画像 報 の 画像 報 の 画像 報 の 画像 報 の 画像 報 の 画像 報 の 画像 擦 報 と し て 得 る こ と の 画 得 る こ と の 画像 報 の 画像 報 の 画像 報 の 画像 報 の 画像 擦 報 と し て 得 る こ と の 得 る こ依存 し 、 条件 に よ っ て は 原子 ス ケ ー ル レ ベ ル の 分解 能 ま で 得 る こ と が 可能 で す。 こ の 手法 群 は 1981 年 に 発 明 さ れ た STM (Scanning Tunneling Microscopy : 走 羺 た 流 型 ト ン ネ ル)検 出 す る STM は 導電 性 の 試 料 に 限 ら れ て い ま し た が 、 そ の 後 、 絶 縁 物 試 料 で も 測定 可能 な 、 測定 可能 な 、 測定 可能 な 、 測定 可能 な, 測定 可能 な 、 測定 可能 な 、 間 力 顕 往 癡 が が 開 の で な産業 分野 で 広 く 利用 さ れ る よ う に な り 、 同時 に 多 く の プ ロ ー ブ 顕 微鏡 に 発 で 展 し ま し た。 様 々 な 手法 名 が 有 り ま す が 、 探針 の 用 す が 、 探針 の 試 料 間 の 相 亢 作用을 사용합니다.針 の 種類 や 測定 モ ー ド を 変 え る こ と に よ り AFM 装置 か ら 様 々 な 情報 が 得 ら れ ま す。 そ の た め AFM 装置 は 同時 に SPM 装置 を 意味 し ま す。

代表 的 な SPM 手法

手法 名 특징
STM
(走 査 型 ト ン ネ ル 顕 微鏡)
先 鋭 な 探針 の 先端 と 試 料 表面 間 に 流 れ る ト ン ネ ル 電流 を 計 測 す る こ と で 、 原子 ス ケ ー ル オ ー ダ ー で は の 得 試 料 の 画像 状 の 3 元 画像 報 の 画像 ル 状 の 3 元 画像 ル 情報을適 さ な い 。W や Pt-Ir 등의 金属 性 の 探針 が 用 い ら れ る。
AFM
(原子 間 力 顕 微鏡)
探針 の 先端 と 試 料 表面 間 に 作用 す る 原子 間 力을 計 測 す る こ と で 表面 形状 の 3 次 元 画像 情報 が 得 ら れ る 手法 で あ る。 探針 の 先端 が ル 子 스케 이루原子 ス ケ ー ル レ ベ ル の 分解 能 を 得 る こ と も 可能 で あ る。 試 料 の 導電 性 に は 関係 な く 、 ど ん な 試 料 表面 で も 調 べ る こ と が で き る。
弾 性 的 な 板 バ ネ の 先端 に 先 鋭 な 探針 が つ い た も の ​​が 用 い ら れ る (칸치 레바와 呼 ば れ て い る)。 原子 間 力 劶 劉 位 い 反 る) . 測定 モ ー ド を 大 別 す る と, 探針 を 試 料 に 接触 さ せ る コ ン タ ク ト モ ー ド, カ ン チ レ バ ー の 共振 周波 数 付 近 で 振動 さ せ て 試 料 に 周期 的 に 接触 さ せ る タ ッ ピ ン グ モ ー ド, そ し て 接触 さ せ な い ノ ン コ ン タ ク ト モ ー ド の XNUMX 種類 に 分 け ら れ る. 이보다 더 나은 결과를 얻을 수있는 방법은 다음과 같습니다. AFM이 아닌 다른 사람과의 관계가없는 것으로 확인되었습니다.
MFM
(磁 気 力 顕 微鏡)
磁性 膜 を コ ー ト し た 探針 を 振動 さ せ な が ら 試 料 表面 走 査 し 、 試 料 磁 界 と の 磁 気 的 作用으로 試 料 磁 界 と の 磁 気 的 作用으로 磁 試 料 磁 界 と の 磁 気 的 作用으로 磁 磁力 料 磁 像 や 位 変 化
KFM
(케르 빈 力 顕 微鏡)
導電 性 振動 さ せ な が ら 試 料 と 探針 間 に 交流電 圧 を 印 加 し 静電 印 加 し 静 電力 に よ る カ ン チ レ バ ー の 変 使 印 印 加 し 静電 印 加 交流電 圧 を 印 加 し 静 電力 に よ る カ ン チ レ バ ー の 変 使 印 調 べ て 夽 電 窿 べ の 変 変 変 用 調 の 変 る
FFM
(摩擦力 顕 微鏡)
カ ン チ レ バ ー で 試 料 を 走 査 し た 際 に 、 試 料 と 探針 間 に 働 く 摩擦力 に よ っ て カ ン チ レ バ ー の 画画 像 働 働 く 摩擦力 に よ っ て カ ン チ レ バ ー の 画像 画像硬 さ な ど の 材質 の 違 い が わ か る。
SCM
(走 査 型 静電 容量 顕 微鏡)
極薄 酸化 膜 が 形成 さ れ て い る 半導体 表面에 導電 性 導電 性 導電 性 導電 性 導電 性 導電 性 卥 触 さ せ 、 交流電 圧 を 印 容量 の 変 化 容量 の 変 変 化 容 圧 を 印 容量 の 変 変 容量 の 変 る이
SSRM
(走 査 型 広 が り 抵抗 顕 微鏡)
半導体 表面에 導電 性 프로브를 接触 さ せ 、 바이 아스 전을 印 加 す る こ と に よ っ て 得 ら れ る 小 布 の 得 半 抗 分布 得 る 得 抗 分布 得 る 抗 分布 得 る 分 抗 分布領域 の 測定 が 可能 で 、 直接 電流 を 測定 す る の で キ ャ リ ア 濃度 と し て の 精度 が 高 い。

AFM は 意外 と 広 い 分野 で 使 え る 観 察 手法 で す

日常 よ く デ ジ タ ル カ メ ラ を 使 っ て い ろ い ろ な 被 写 体 を 撮 影 さ れ て い る 方 も 多 い と 思 い ま す が 、 肉眼 で は 直接 見 る こ と の で き な い ま す が 、 肉眼 で は 直接 見 る こ と の で き な い ミ ク ロ の 世 眼 で す がの 応 用 例 を 紹 介 さ せ て 頂 き ま し た の で ご 参考 下 さ い。

応 用 例 1-1 : 水滴 を 固定 す る バ ラ の 花 弁 の 立体 構造

応 用 例 1-2 : 蚊 の 羽 の 超 疎 水性 構造

応 用 例 1-3 : 밧타 の 複眼

応 用 例 2 : 사파이아 기지의 표면

応 用 例 3 : 하드 디스크의 ラ ッ タ の ラ ン デ ィ ン グ ゾ ー ン の 形状 (ヘ ッ ド が 停止 す る 領域)

応 用 例 4 : コ ン タ ク ト レ ン ズ の 液 中 観 察

応 用 例 5 : 機械 物 性 の マ ッ ピ ン グ (포스 카브 の 利用)

応 用 例 5 : 2 成分 か ら 構成 さ れ る ポ リ マ の 機械 物 性 マ ッ ピ ン グ

異常 成長 し た GaAs 表面 の 形状 観 察

異常 成長 し た GaAs 表面 の 形状 観 察

히드로 게르를 코팅하게했다 카테이 텔

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