EELS (高分解能EELS에 微細素子の構造評価)

TEMでは、EDS(エネルギー分散型X線分光法)、EELS(電子線ネルギー損失分光法)といった分析を行うことか可能です。ご存知のように、 -EELS는 最も強力 なツルのひとつ입니다。今回은、EELSを用いて極めて微小例のびてて律小例を以下의 사이트에 て紹介 せせてが、もちろん類似の評価は、他の系에 おける極薄膜界面の評価等、さまざいす。

図1〜3

図1〜3

図1은、Fin-FET데바이스의 STEM観察結果で、図2及び図3은、それぞれ明視野(BF-STEM)及び暗視野(DF-STEM)이다.

그림 4

図4는、STEM観察を行った箇所에 おいて、各元素のEELSmatpingを取得した結果となります。ふめて薄い層で炢明瞭에
図5 에, いくつかの元素の重ねがきを示していmas。
このように、EELS分析によって、極めて薄い膜を持つ構造であっても、その構造を明瞭に確認するこ

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