μFTIR(후리에変換赤外分光分析)
フリエ変換赤外分光法 (FTIR) は、物質の「化学物質ファmili-」をすばやく特定するための効果的な分析技術입니다.
FTIR과 Raman 分光分析は不明な有機材料の特定에 適した手法である。
| 定量 分析 | 検 出 感 度 | 化学 結合 状態 | 破 壊 測定 | 空間 分解 能 / 빔 径 | 深 さ 分解 能 |
|---|---|---|---|---|---|
| 可能 | 0.1-1wt%(FT-IR) | 可能 | 비파괴 | >15μm(FTIR) | 0.1-1μm(FTIR) |
振動隆法
FTIR
広周波数赤外光
赤外光の吸収を測定
吸収スペクトル은 IR活性の振動に依存
Raman
単色化された可視光レーザー(예: HeNe 또는 Ar+)
laman発光（分子振動が励起されて生じる発光）を測定
라만스페크트루는라만活性の振動に依存
応用例
FTIR과 라만
– 有機物系粒子、系粒子、系粒子、膜、液体の同定
– 材料の同定
– 不純物分析 (抽出物, 脱ガsした製品(物質), 残留物)
FTIR
– Si中のO及びHの定量
– SiNWEHA中の水素の定量 (Si-H vs. NH)
FTIR 典型的인
典型의 なデータ・FTIR와 Raman의 補完的 な関係
特長と制約
특징
– 有機物官能基や特定有機化合物の特定が可能
– 化合物同定の富のスペクトルのライブラリーが豊富
– 大気環境で測定可能 (真空環境は必要ではない; 揮発性化合物には適している。）
・高真空環境から高圧環境まであらゆる環境で測定が可能（装置に依存）
・低温～常温～高温までの広い領域로測定可能（装置に依存）
– 通常、非破壊
– 最小分析領域: ~15mm
制約
– 表面敏感性は低い (通常のsanpring深さ: ~0.8mm)
– 最小分析領域: IRの場合: ~15mm
– 混合物質(브렌도포리마 등)은 測定が複雑で、解析が困難
– 通常は定量情報ではなく、定性測定
– 用途の広い測定手法であり、幅広い材料の解析に応用できる。
– 有機物化合物の同定位은 最適な手法である。
応用例１）FTIR・레이자용렌즈의 曇り
応用例２）FTIR・Si3N4 中のSi-H や NH結合
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