μFTIR(후리에変換赤外分光分析)

フリエ変換赤外分光法 (FTIR) は、物質の「化学物質ファmili-」をすばやく特定するための効果的な分析技術입니다.
FTIR과 Raman 分光分析は不明な有機材料の特定에 適した手法である。

定量 分析検 出 感 度化学 結合 状態破 壊 測定空間 分解 能 / 빔 径深 さ 分解 能
可能0.1-1wt%(FT-IR)可能비파괴>15μm(FTIR)0.1-1μm(FTIR)

振動隆法

振動隆法

FTIR
広周波数赤外光
赤外光の吸収を測定
吸収スペクトル은 IR活性の振動に依存

Raman
単色化された可視光レーザー(예: HeNe 또는 Ar+)
laman発光(分子振動が励起されて生じる発光)を測定
라만스페크트루는라만活性の振動に依存

応用例

FTIR과 라만
– 有機物系粒子、系粒子、系粒子、膜、液体の同定
– 材料の同定
– 不純物分析 (抽出物, 脱ガsした製品(物質), 残留物)
FTIR
– Si中のO及びHの定量
– SiNWEHA中の水素の定量 (Si-H vs. NH)

FTIR 典型的인

典型의 なデータ・FTIR와 Raman의 補完的 な関係

特長と制約

특징
– 有機物官能基や特定有機化合物の特定が可能
– 化合物同定の富のスペクトルのライブラリーが豊富
– 大気環境で測定可能 (真空環境は必要ではない; 揮発性化合物には適している。)
・高真空環境から高圧環境まであらゆる環境で測定が可能(装置に依存)
・低温~常温~高温までの広い領域로測定可能(装置に依存)
– 通常、非破壊
– 最小分析領域: ~15mm
制約
– 表面敏感性は低い (通常のsanpring深さ: ~0.8mm)
– 最小分析領域: IRの場合: ~15mm
– 混合物質(브렌도포리마 등)은 測定が複雑で、解析が困難
– 通常は定量情報ではなく、定性測定
– 用途の広い測定手法であり、幅広い材料の解析に応用できる。
– 有機物化合物の同定位은 最適な手法である。

応用例1)FTIR・레이자용렌즈의 曇り

応用例2)FTIR・Si3N4 中のSi-H や NH結合

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