ICP-OES 及 び ICP-MS と は 湿式 の 分析 手法 で, 液体 試 料 に つ い て は 直接 分析 出来 ま す が, 固体 試 料 の 場合 は 一度 分解 や 抽出 に よ り 水溶液 化 す る 必要 が あ り ま す. 溶液 化 さ れ た 試 料 を ネ ブ ラ イ ザ ー で霧化し、誘導結合프라즈마 という現象を利用して試料を프라즈마 화 사 せ る という 分析原理 までは共 通 して い 마스. ICP-OES의 場 は、から各元素の濃度を評価します。一方ICP-MS는、프라즈마内でい온화사레타各元素を電場や磁場を用いて分離する事で各手法を比較し、それぞれの長所と短所を紹介し마스。
(XNUMX) 各ICP로 測定できる元素
固体 試 料 を ICP で 測定 す る 場合, 硝酸 や 塩 酸 な ど を 用 い て 溶液 化 す る 必要 が あ る の で, ハ ロ ゲ ン 系 の 測定 は 一般 的 に は 難 し い と 言 わ れ て い ま す. ま た, 液体 に な ら な い 希 ガ ス 元素 や 大 気成分の測定も出来ません。
(XNUMX) ICP의 検出範囲
(XNUMX) ICP의 検出範囲
ICP-OES는 一般的에 ppm인가 測定を得意としておりますので、微釁不純物来より은 主要構成元素評価に適した手法化 工程 の 無 い 水溶液 試 料 で す と 前 処理 中 の 汚染 な ど の 影響 を 受 け な い た め PPT レ ベ ル に ま で 到達 が 可能 で す. し か し, 特 に 固体 試 料 の 測定 に お い て, 試 料 内 に 高 濃度 で 存在 す る 元素 の 測定 に対 し て は, 感 度 が 良 い た め に 逆 に 元素 ご と の 希 釈 誤差 が 大 き く な る と い う 問題 が 出 て き ま す. 例 え ば 合金 材料 の 主要 構成 元素 の 組成 評 価 を 目的 と す る 場合, 主要 構成 元素 評 価 に よ り 適 し て い る一方、試料中の不純物の定性評価を目的場合は、より検出下限値の良いICP-MSの方をお薦し마스.
바르크分析手法の検出下限値一覧表
ICP-OES와 ICP-MS의 마와메
ICP-OES의 長所
프라즈마인가로부터의 광을 観測する可能
ICP-OES의 短所
同位体分析が出来ない
分光干渉があるので、백크그라운드補正や検量線니よる干渉補正が必要
ICP-MS의 長所
検出下限値が良い(水溶液の場合pptrebelまで測定が可能)
質量分析なので同位体分析が出来る
ICP-MS의 短所
原子量が80以下の元素は、Ar及び主成分由来の分子이온の質量干渉を受けやすい
ICP*共通の短所固体試料である場合、溶液化する必要がある
固体試料の分解・希釈により分析精度が大きく左右される