各種分析手法の情報深さ

表面分析では、固体に電子線やX선、이온빔등を照射し、固体とそれ라프로브신号との相互作用により発生する、電子やや 構造 に 関 す る 情報 を 得 る こ と が で き ま す. 固体 表面 か ら 得 ら れ る こ れ ら の 信号 は, 固体 表面 と の 相互作用 の 種類 に よ り, 得 ら れ る 情報 深 さ が 異 な り ま す. そ の た め EAG で ま と め た 各種 表面 分析 手法 とその情報深さの図を用いることで、得られる情報深さを手法別に知ることができmas。
図中では、表面からの深さを便宜的에「表面(図中赤色)」、 「表層(表面より10nm程度:図中黄色)」 「厚膜(表面から100nm程度:図中青色)」、「바르크(固体内部:図中藤色)」とし、各手法別にまとめていmas。

最 表面 の 構造 を 調査 す る 手法 と し て は, 探針 を 試 料 表面 に 近 づ け る 事 で, 固体 表面 と の 原子 間 力 を 測定 す る 事 に よ り 表面 の 原子 配 列 を 調 べ る AFM (원자 힘 현미경) が あ り ま す. ま た,試 料 表面 上 に 付 着 し た 数十 내지 オ ー ダ ー の パ ー テ ィ ク ル を 分析 す る 手法 と し て は, AES 分析 (오제 전자 분광법) が あ り ま す .AES 分析 は 表面 か ら 得 ら れ る 情報 深 さ が, 10nm의 程度 で あ る た め, 数十 내지 레벨노파티크루인가 得られる信号を取られる事が可能이다.同様のケースとし分て、SEM(Scanning Electron Microscope)그리고파티크루합선観察した場、 (Energy Dispersive X-ray Spectrometer) で測定しますが、EDSの情報深さ은 1um程度에 及ぶ ため、 PARTICRULU IND よ って は、基板 から の 情 報 量困難となります。測定파티크루사이즈에 対して、適切な分析手法を選択する事が重要となる例입니다。

さ ら に 図 中 で は, ス パ ッ タ リ ン グ を 併 用 す る 事 で 深 さ 方向 分布 を 得 ら れ る 測定 手法 を 矢 印 で 示 し て い ま す. 二次 イ オ ン 質量 分析 SIMS (이차 이온 질량 분석) は, 試 料 表面 に 照射 す る 一次 イ オ ン の エ ネ ル ギ ーを数100eV로부터 20keV程度まで変えることで、着目する深さの濃度分布を評価する事が可能이다.

分析の情報深さ、分析領域と検出下限の関係がわかる바브르챠트を併用する事で分析手法を選択するちを選択するちときの目安彈

챠트의 縦軸、横軸について
챠트의 縦軸は濃度を表しています。右縦軸は原子濃度(atomic %)、左縦軸は原子密度(atoms/cm3) にそれぜし対ことがわかります。SIMS,GDMSが最も検出下限の低い手法입니다.横軸は分析面積径径傘ぐきを径径ています。を表しています。 .TEM/STEMが最も微小な領域を調べることができる手法であることがわかり마스。

 縦軸の範囲外の手法について
このchartの中度、縦軸の範囲の外にある手法は(TEM/STEM,SEMなど)形態観察手法이다。濃度を手法이다。濃度ををぉめる手法ある手法は(TEM/STEM,SEM) EDSが装備されると濃度情報を得ることができますので、縦軸の範囲内に表記されています。例えばGDMS는 不定形の試料を分析することが可能입니다.

物理限界線에 ついて
物理限界線(물리적 한계) も図中に示されています。例えば分析面積が10nm x 10nm로 산프링시ている深さが3nmとします。が10nm数は10個程度になります。この原子を3%検出できる能力があるものと仁定すると、原子1個が検出され理た場合の検出され。限界です。分析面積(分析体積)が小さくなるほど検出できる信号量が減りますので物理限界濃度が上ぇし、

챠트が示す色에 ついて
챠트에 示された色에 의의 味があります。赤系統の色で示された手法は化学結合状態や分子情報を得ることができる手法手法입니다.緑系統の手法은 画像情報が得られる手法입니다.密度を求めることができ마스。

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