동시 이중 EELS 및 EDS에 의한 원자 원소 매핑

소개

전자 에너지 손실 분광법 (EELS) 및 에너지 분산 분광법 (EDS)은 주사 투과 전자 현미경 (STEM)과 결합되어 재료의 구조 정보와 함께 국소 화학 조성을 제공합니다. EDS는 중원 소 검출에 (오직) 좋고 EELS는 경 원소에 (오직) 좋다는 것이 널리 받아 들여졌습니다. EELS 분광계와 EDS 검출기의 개발로 EELS와 EDS는 각각 고유 한 강도와 검출 한계가 있지만 오늘날에는 가볍고 무거운 원소 모두에서 작업 할 수 있습니다. EELS와 EDS는 독립적으로 작동 할 수 있지만 동시에 EELS와 EDS는 포괄적 인 화학 정보를 제공합니다.

수차 보정 STEM의 발전으로 전자 프로브 크기는 이제 서브 옹스트롬 수준으로 감소하고 동시에 프로브 내의 전류가 엄청나게 증가합니다. 이러한 변화를 통해 작은 탐침으로 분석 분석을위한 충분한 신호를 수집 할 수 있습니다. 즉, 구조뿐만 아니라 원자 단위의 화학 구조도 연구 할 수 있습니다.

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