전문 샘플 준비

EAG에는 분석 조사의 성공 가능성을 크게 높일 수 있는 다양한 전문화된 샘플 준비 및 샘플 처리 기술이 있습니다. 이들 중 몇 가지는 다음과 같이 자세히 설명됩니다.

뜨겁고 차가운 단계 XPS
수분이 많은 샘플이나 액체도 분석을 위해 -80 ~ -100 ° C까지 냉각 할 수 있습니다. 일반적인 응용 분야는 UHV 조건 또는 고 에너지 방사선에 노출되어 변경 될 수있는 표면 (예 : 콘택트 렌즈)에 사용됩니다. 또한 샘플을 800 ° C까지 가열하여 온도 함수로서 표면 화학의 잠재적 변화를 조사 할 수 있습니다.

고온 및 저온 단계 TOF-SIMS
샘플은 분석을 위해 거의 액체 질소 온도로 냉각될 수 있습니다. 이것은 실온에서 고체가 아니거나 UHV 진공 시스템에서 펌핑될 수 있는 휘발성 성분을 포함하는 샘플에 유용합니다. 이 샘플 단계는 또한 분석 중에 샘플을 수화 상태로 유지할 수 있습니다. 동결된 표면에서 물의 승화는 제자리에서 수행되고 샘플은 분석될 수 있습니다. 샘플은 또한 온도의 함수로서 표면 화학의 잠재적인 변화를 조사하기 위해 최대 450°C까지 가열될 수 있습니다.

XPS 및 Auger 용 불활성 가스 샘플 진공 이송
EAG 제공 하드웨어를 사용하면 불활성 가스 환경에서 샘플을 장착할 수 있습니다. 이것은 일반적으로 클라이언트 사이트 또는 EAG에서 글러브 박스/가방을 사용하여 수행됩니다. 불활성 전송 용기에 장착되면 필요에 따라 샘플을 EAG로 배송할 수 있습니다. 이송 용기는 시료 도입 포트에 장착되어 진공 상태로 유지되며, 시료는 공기나 습기에 노출되지 않고 분석을 위해 분석 챔버로 이송됩니다. 이 방법을 사용하면 샘플을 공기에 노출시키지 않고 Auger 및 XPS 분석을 성공적으로 수행할 수 있습니다. 또한, 아르곤 분위기에서 샘플을 처리하고 XPS 장비에 샘플 재료를 도입하기 위해 완전한 글로브박스를 사용할 수 있습니다. 글로브박스의 장점은 분말 샘플을 인듐으로 누르거나 접착 테이프를 사용하지 않고도 XPS에 주입할 수 있다는 것입니다.

오거에 대한 현장 진공 야금 골절
금속 샘플 (특정 치수로 가공)은 UHV 하에서 분리하여 AES (Auger Electron Spectroscopy)를 사용하여 새로 파쇄 된 오염되지 않은 표면의 입자 경계 분리 또는 기타 특징을 검사 할 수 있습니다. 이것은 새로 형성된 파 단면에서 관찰 된 종의 중요성을 결정하는 데 실질적으로 도움이 될 수 있습니다.

Microtome 및 Cryomicrotome
다이아몬드 또는 유리 블레이드는 연질 재료 (일반적으로 연마 할 수없고 절단에 적합하지 않을 수 있음)를 단면에 사용하여 단면의 레이어 또는 묻힌 형상을 볼 수 있습니다. 일반적인 샘플에는 다층 폴리머 또는 약물 비드가 포함됩니다. 이러한 단면 표면은 일반적으로 SEM 또는 TOF-SIMS로 분석됩니다. 이 기술은 일반적인 FIB 준비가 충분히 큰 단면을 제공하지 않는 경우 TEM 샘플 준비에도 사용할 수 있습니다. Cryo 기능 (액체 질소 온도까지)은 특히 부드러운 샘플을 단면 화하는 데 유용합니다.

이온 밀 단면 (Cryo)
아르곤 이온 빔은 시료에 기계적 응력을 가하지 않고 최대 1mm 영역까지 다양한 재료를 단면 화하는 데 사용됩니다. 이것은 일반적으로 기계적 단면 (연마 또는 연삭)이 공정 중에 샘플 재료를 변형 시키거나 번질 때 사용됩니다. Cryo Ion 밀링은 부드러운 폴리머 유형 샘플에 사용됩니다.

FIB 횡단면
Focused Ion Beam (일반적으로 Ga 이온 사용)은 추가 분석 또는 측정을 위해 영역을 노출하기 위해 샘플의 특정 결함 또는 특징을 단면 화하는 데 사용됩니다. FIB는 TEM (Transmission Electron Microscope) 샘플 준비에도 사용할 수 있습니다.

디캡
패키지에서 IC의 캡슐화 해제에 사용됩니다. 뜨거운 산을 사용하여 폴리머 봉지 재를 제거하면 다이가 노출되어 패키지에 남아 있습니다.

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