EELS(高分能EELSによる微细素子の构造评)

TEMでは、EDS(エネルギー分散型X线分光法)、EELS(电子线エネルギー损失分光法)といった分析の行うことか可能です。ご、ですかかです。 -EELSは最も大力なツールのひとす。回は、EELShooいて极めて例例イスイスデバイスデツールのひとす。が、もちろん类似の评価は、他の系における极薄膜界面の评価等、さまざまなケースでお役に立てるに立てるないのでとないのではないの

図1〜3

図1〜3

図1は、Fin-FETデバイスSTEM観察の结果で、図2及び図3は、それぞれ明范围(BF-STEM)及び暗范围(DF-STEM)で高高区分すす

图 4

図4は、STEM観察の行った箇所において、各元素の鳗マッピングo取得した结果となります。极めて薄い层でもかかかいきすかかかかかかかかかかす
図5には、いくつかの元素の重ねがきの示しています。
このように、鳗鱼分析によって、めて薄い膜o持つ构造であっても、その构造の明了に确认することが可能です。

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