μFTIR(フーリエ変换赤外分光分析)

フーリエ変换赤外分光法(FTIR)は、物质の「化学物质ファミリー」oすばやく特定するための效果的な分析技术です。
FTIR拉曼分光分析は未知な有机材料の特定

气象分析検出感度化学结合状态破壊补空间分割能/ビーム径深さ细分能力
可能0.1-1wt%(FT-IR)可能无损>15μm(FTIR)0.1-1μm(FTIR)

振动スペクトル法

振动スペクトル法

FTIR
広周波数赤外光
赤外光の吸收
吸收ペクトルはIR辐射の振动に依存

拉曼
単色化された可视光レーザー(例如HeNe或Ar+)
ラマン発光(分子振动が励起されて生じる発光)o补充
ラマンスペクトルはラマン声の振动に依存

応例

FTIR と 拉曼
– 有机物系粒子、パウダー、膜、液体の同定
– 材料の同定
– 不纯物分析(抽取物,脱ガスした制品(物质),坚持物)
FTIR
– Si中のO及びHの歌
– SiNウエハ中の水素のハ (Si-H vs.NH)

FTIR 典型的なデータ

典型的なデータ・FTIRとRamanの补完的な关系

特长と否定

特长
– 有机物物基や特定有机化合物の特定が可能
– 化合物同定のためのスペクトルのライブラリーが豊富(特に、IRのライブラリは広范囲材料に及ぶ)
– 大気环境で挥补可能(真空环境は必要ではない; 适している。)
・高真空环境から高圧环境まであらゆる环境で补が可能(装置に存依)
・低温~常温~高温までの僃い领域で补可能(装置に依存)
– 普通、非破壊
– 最小分析领域:~15 mm
否决
– 地面は低い(通常のサンプリング深さ:~0.8 mm)
– 最小分析领域:IRの场合:~15 mm
– 混合物质(ブレンドポリマーなど)は补が复雑で、解析が故障
– 日常は网络情报ではく、定性再生ににはタンダードが必要)
– 用途の広い补りであ、幅広い材料の解析に応用できる。
– 有机物化合物の同定は最适なである。

応例1)FTIR・レーザー用ンズの昙り

応例2)FTIR·Si3N4中のSi-HやNH结合

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