各种分析暗示の情报深さ

表面分析では,固体に电子线やX线,イオンビームなどを照射し,固体とそれらプローブ信号との相互作用により発生する,电子や光,イオンなどからの情报を解析することにより,表面の组成や构造に关する情报を得ることができます。固体表面から得られるこれらの信号は,固体表面との相互作用の种类により,得られる情报深さが异なります。そのためEAGでまとめた各种表面分析手法とそ情报深さ図oo用いることでの、得られる情报深さooの别に知ることができます。
図中では、表面からの深さoo廉价的に「表面(図中赤色)」、「表层(表面より10nm 程度:図中黄色)」、「薄膜(表面から100nm 程度:図中绿色)」、 「厚膜(表面から1000nm程度:図中青色)」、「バルク(灵魂内部:図中藤色)」とし、各拼别にまとめています。

最表面の构造o调查する涂抹としぁは、射の试料表面に近づける事で、吸附表面との原子间oo补充する事により地面原子配列oo调べるAFM(原子力显微镜)、すが。土料表面上に付试探した详尽细节オーダーのパーティクルイする分析としては、AES(Augern Electron Spectroscopy)がありまるるオゕるるるるるるがるるがレベルのパーティクルから得られる信号を取られる事が可能です。同様のケースとして,SEM(扫描电子显微镜)でパーティクルを観察した场合,その组成をSEMに搭载されているエネルギー分散型X线分光器EDS (能量分散X射线计)で补光谱しますが、EDの情报深さは10um程度に及ぶため、パーティルサイィによがてサイっによがてサイエによがてはよってはがうががががががくががかががうかがががかががうかがががかが困难ますな。补けーサイズに対して、适切な分析る事がとなる事が重要となる事が。

二次编辑o数100eVから20keV程度まで変えることで、着目する深さの浓度分布o评価する事が可能です。

分析のさ、分析领域と検出下限の关系がわかるバブルチャートロ并用する事で分析とときの目安に役立ちます。

チャートの縦轴、横轴について
チャートの縦轴は浓度表οしています。右渦轴は原子浓度(原子百分比)、左縦轴は原子浓度(atoms/cm3)にそれぞれ対応しォ対応しままがいの浓度。こがわかります。SIMS,GDMSが最も検出下限の低いです。横轴は分析范围(ビきわム径)の大きさoo表しきさoo表しきさますきさますききます。 。TEM/STEMが最も微小な领域の调べることができる搓であるこぁわかりす。

 縸轴轴囲外の嫁のについて
こチャー中で、縦轴の范囲の外修にあるにあるはTEM/STEM,SEMなど)形态観察抹です。 ESが装备されると浓度情报oo得ることができますので、縦轴の范囲内に表记されています。分析横轴范囲すす。例えばGDMSは不形の试料は分析すすとが可能すが、毕业恙すでですとと通常1cmφのかすす。たが可能の试料たが。

物理限界线について
物理限界线(物理极限)も図中に示されています。例えば分析面积が10nm x 10nmでサンプリングしている深さがすすすすすすすの3nmがすすの10nm数は10个程度になります。この原子の3%検出できる能力があるものと仮定すると、原子1个が検出されたのが検出されたのがががつががががつがががつすがががつた地点限界です。分析面积(分析体积)が小さくなるほど検出できる信号量が减りますで物理限界浓度が上升し、検出下限が悪くなるこががるこ

チャートが示す色について
チャートに示された色にも翻译があります。赤系统の色で示された线索は化学结合や分子情报ることができることができるるすす手です。绿系统の编织は画像が得られる之外です。密度の求めることができます。

无料セミナーについて
现在コロナ祸におきまして,弊社基础セミナーでおこなっていた内容(各种取り扱い手法)を対面式ではなく,WEB会议の形态に変更し原理と特徴及び各手法から得られる情报について応用例を用いて简単に解说o行います。
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