拉曼(ラマン分光分析)

ラマン分光法は、化学构造の决定と振动分光法oo使用した化合物の同定の可能にします。ラマン分析はFTIRよりも优れた空间划分能ます。
FTIR拉曼分光分析は未知な有机材料の特定

气象分析検出感度化学结合状态破壊补空间分割能/ビーム径深さ细分能力
可能>1wt% (拉曼)可能无损>1μm(拉曼)1-5μm(拉曼)

振动スペクトル法

振动スペクトル法

拉曼
単色化された可视光レーザー(例如HeNe或Ar+)
ラマン発光(分子振动が励起されて生じる発光)o补充
ラマンスペクトルはラマン声の振动に依存

FTIR
広周波数赤外光
赤外光の吸收
吸收ペクトルはIR辐射の振动に依存

応例

FTIR と 拉曼
– 有机物系粒子、パウダー、膜、液体の同定
– 材料の同定
– 不纯物分析(抽取物,脱ガスした制品(物质),坚持物)
拉曼
– 配对核种からなる结合构成の解析(例えば、炭素からなるグラファイト、ダイヤモンド、DLCの区别)
– 结晶相とアモルファス相の区别と决定
– 原子格子応力やひずみ

ラマン分光分析

补の対象となる试料
– 粉体,再生材料
– 単结晶
– 面积
– 液体や溶液(含水物质や有机溶剤)
一般的な试料形态
– 粒子又は欠陥サズ —- >1 µm (例外:大イズラマン散生じる材料)
– 膜厚 —- >0.8 µm
– 材料材料からの信号が补充したいの材料危害となりるの㧧注意が必要。
・纯金属は问题なし
・やガラスも问题ない
・炭素リッが材料が(基础)にある场合、强炭素强度がい害となる。

拉曼典型的なデータ

ラマンは炭素同素体の异なった结晶构造の区别し、特定できる。

典型的なデータ・FTIRとRamanの补完的な关系

典型的なデータ・FTIRとRamanの补完的な关系

特长と否定

 特长
– 有机物物基や特定有机化合物の特定が可能
– 二同定のためのスペクトルのライブラリーが豊富
– 大気环境で挥补可能(真空环境は必要ではない; 适している。)
・高真空环境から高圧环境まであらゆる环境で补が可能(装置に存依)
・低温~常温~高温までの僃い领域で补可能(装置に依存)
– 普通、非破壊
– 最小分析领域:~1 μm
否决
– 地面は低い(通常のサンプリング深さ:~0.8 μm)
– 最小分析领域:IRの场合:~1 μm
– 混合物质(ブレンドポリマーなど)は补が复雑で、解析が故障
– 日常は网络情报ではく、定性再生ににはタンダードが必要)
–レザー光源による材料からの蛍光がとなり、スペクトルが検出できない场合あり。
– 用途の広い补りであ、幅広い材料の解析に応用できる。
– 有机物化合物の同定は最适なである。

応例1)拉曼・有机物粉体(粒子)

応例2)拉曼·格子ずみの补

SiGe上に传伸されたSiエピ膜では引きばしひずみが観测される。
このひずみは、珠宝のSiとGeの格子不整合によ生りじている。

ラマン分光分析にる半导体结晶构造解析(AN334)

ラン分光分析は半导体oo初めとする结晶构造の特定に対して效果的なです。利用されています。ある半导体结晶の固有のフォノンのラマンピークは非常にシャープです。それに対し,多结晶化や非晶质化が生じるとピークが非対称になったり,広がりが生じたり,低波长侧へのシフトなどでスペクトルに现れます。これらoo调べることでの结晶乱れの度合いの情报の突き止められます。

下図では、结晶非非リコンポリコシリコン、晶质シリコン中に含まれる微结晶(μc-Si结合)などのラマンペスペマンペクトルマンペペマンコスペママンペクトルマンペスペママンスペママンマスペママンマスペママンバスペママンスペママンガスペママンガスペママンガステマママィるエるエ却るンドコンドコンコンコン角歪のみやの结晶の特长示の补でです。

ラマン分光分析にる半导体结晶构造解析(AN334)

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