S中所选元素的SIMS检测限i 在批量分析条件下

应用笔记

讨论

SIMS 是一种强大的分析技术,可以检测从H到U的所有元素,并具有出色的灵敏度。 该表提供了在体积分析条件下Si基质中典型掺杂剂和杂质的检测限的列表。

SIMS检测 - 限制-Si系副散装

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