S中所选元素的SIMS检测限i 和SiO2在正常深度剖析条件下

应用笔记

讨论

SIMS 是一种强大的分析技术,可以检测从H到U的所有元素,具有出色的灵敏度。 该表提供了Si和SiO2基质中杂质的典型检测限的列表。 这些检测水平适用于毯式晶片的正常深度剖析条件。 设备样本的检测级别取决于可用分析区域的大小。

SIMS检测 - 限制 - 硅
SIMS检测 - 限制 -  SiO2

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