光学轮廓术（OP）

光学轮廓仪（OP），也称为 白光干涉仪 （WLI）是一种基于非接触式干涉测量的表面形貌表征方法。 典型的光学轮廓仪分析提供2D和3D图像 表面分析，许多粗糙度统计数据和特征维度。 除了这些标准测量之外，EAG 还可以使用我们最先进的 Bruker Contour GTX-8 3D 和 NPFlex 光学仪器执行许多高级光学轮廓分析。 这些包括：

• 分析自动化，用于在单个样品上对数百个特征进行高通量测量，例如图案化晶圆或模具特征
• 厚度测定透明连续薄膜

光学轮廓仪是该仪器成像部分的一部分 智能图表

OP适用于多种应用和样品类型，因为它可以容纳许多样品几何形状，提供各种可能的分析尺寸和多功能Z系列，涵盖广泛的潜在表面粗糙度。 EAG致力于与客户合作，利用我们的3D光学显微镜功能，开发出独特的方法，用于表征最具挑战性的样品的形貌。

光学轮廓仪的理想用途

• 步高和尺寸测量
• 表征机械零件的磨损和摩擦
• 确定焊料凸点高度的一致性，例如倒装芯片和其他高级封装
• 将粗糙度测量与材料特性相关联，例如粘附，腐蚀，外观
• 测量微流体通道，光学器件等的曲率半径
• 评估涂覆/处理的晶片上的弓形，例如MEMS制造
• 量化连续透明薄膜的厚度（即不需要物理步骤）
• 高通量筛选芯片或晶圆上的多种特征

我们的强项

• 首先，可能的分析区域、特征高度和粗糙度统计范围很广
• 其次，它可以容纳非常大和非常小的样本量
• 第三，对于非破坏性/非接触式应用
• 最后，它速度快，因此适合多次重复测量

限制

• 某些样品类型的光学伪影的可能性
• 对于非常陡峭和粗糙的表面，检测信号很差
• 薄膜必须是透明的并且具有已知的折射率，以进行连续的薄膜厚度测量

光学轮廓仪技术规格

• 横向分辨率：0.5μm（最佳）
• 高度解析度：0.01 nm（PSI）或6 nm（VSI）
• 最大特征高度：10毫米
• 最小影像尺寸：0.06×0.047毫米²
• 最大影像尺寸：2.2×1.1毫米² （单个图像）； 70×70毫米² （缝合图像）
• 最大样本量：直径300毫米，重量100磅，高度4英寸/ 100毫米
• 薄膜厚度：厚度在150 µm至2 µm之间