激光诱导击穿光谱（LIBS）

激光诱导击穿光谱法（LIBS）是一种功能强大的快速仪器化学分析该技术结合了自动激光微采样技术和光发射光谱仪，可表征固体样品中的相对元素丰度和元素分布。

当激光穿过样品表面时，LIBS 使用聚焦的高能脉冲激光去除纳克到皮克的材料。激光形成微等离子体，使样品材料原子化和电离，样品材料迅速膨胀和冷却。在此期间，等离子体中存在的原子化和电离元素会在近红外到深紫外范围内产生特征光发射线。光谱仪位于样品台上方，可以同时采集所有现有元素产生的整个波长范围。光谱仪对样品成分的间接测量使 LIBS 对大气敏感样品特别强大，目前美国宇航局正在使用火星车.

LIBS 对于深度分析特别有用，因为激光可以重新聚焦在样品表面的同一位置，并以每次通过 100 纳米的分辨率提供深度分析，具体取决于样品基质。此外，还提供一系列激光光斑尺寸（~20-200 µm），亚微米分辨率的电动样品台允许激光扫描样品表面，提供空间可分辨的元素图，允许进行多变量统计分析. LIBS 可以检测任何天然存在的元素，低至百万分之几，具体取决于样品基质。