나노 인 덴 테이션 (NI)은 정밀한 컴플라이언스 측정에서 기계적 특성을 제공하는 나노 기계 테스트입니다. 또한 나노압입 분석은 다양한 모양과 크기의 재료의 모듈러스 및 경도와 같은 특성을 측정하는 데 특히 유용합니다. 예를 들어 나노 인 덴 테이션은 반도체 박막, 패키징, 고급 합금, 열 차단 코팅, 폴리머를 특성화하는 데 유용합니다. 점탄성, 스크래치 및 내마모성.
Nanoindentation은 프로브를 고체로 밀어 넣는 접촉을 사용하는 반면 침투 깊이는 원자에 가까운 분해능과 동시에 기록됩니다. 또한이 기능은 프로빙 볼륨을 100nm까지 줄일 수 있습니다.3, 연속체 기계적 접촉 모델을 사용하여 박막 및 미세 구조의 구성 요소에 대한 경도 및 계수와 같은 특성을 추출할 수 있습니다. 접촉 형상 및 테스트 방법을 구성할 수 있으므로 기계적 특성 분석을 미세 구조의 취성 특성, 접착력, 응력 변형, 스크래치, 마모 또는 구조적 강성으로 확장할 수 있습니다.
인스트루먼트 들여 쓰기 이론
나노 압입 실험은 일반적으로 준 정적 또는 동적으로 수행되는 반면 속성은 접촉 또는 진동 물리학을 사용하여 추출됩니다.