EDS와 EELS의 비교

EDS (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy) 및 EELS (Electron Energy Loss Spectroscopy)는 TEM (Transmission Electron Microscope)과 같은 전자 현미경과 통합 된 원소 분석 기술입니다. 두 기술 모두 나노 미터 수준 또는 원자 수준의 직접 관찰과 재료 원소 분포 및 농도에 대한 반 정량 분석을 제공하여 FINFET 또는 3D NAND와 같은 작고 복잡한 구조를 정확하게 측정 할 수 있습니다.

그러나 EDS 및 EELS 분석에는 다른 도구 구성, 전자 빔 설정 및 분석 방법이 필요합니다. 특정 분석에 어떤 기술이 더 적합한 지 명확하지 않은 경우가 많습니다. 이 애플리케이션 노트에서는 단면 3D NAND 플래시 메모리 샘플과 게이트 컷 FINFET 샘플의 사례 연구를 통해 EDS 및 EELS의 각 강점과 한계를 비교합니다. 또한 각각의 장점을 결합한 EELS 및 EDS를 동시에 수행 할 수있는 능력을 보여줍니다.

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