세정 효능 평가

애플리케이션 노트

토론

제거 표면 오염 모든 청소 프로세스의 공통 목표입니다. 불행히도 모든 청소 단계가 똑같이 효과적이지 않으며 일부 공정은 실제로 추가 오염 물질을 남길 수 있습니다. X 선 광전자 분광법 (XPS) 하는 표면 분석 청소 프로세스를 특성화 할 수있는 도구입니다. 수소와 헬륨을 제외한 모든 원소 종의 농도를 정량화하는 XPS의 능력은 세정 공정의 함수로서 오염 제거의 효율을 모니터하는 것을 가능하게합니다.

아래의 스펙트럼은 몇 가지 세척 단계 전과 후에 유리 샘플에서 나온 것입니다. 나트륨 (Na)과 탄소 (C)의 피크는 세정 후 강도가 감소하는 반면 유리 기판 (예 : 실리콘 및 산소)의 피크는 표면이 청결 해짐에 따라 상대 강도가 ​​증가합니다. 표에는 청소 전후의 원소 농도가 나와 있습니다. 첫 번째 단계는 Na의 수준을 낮추지 만 C 농도를 증가시킵니다. 후속 공정 단계는 C의 대부분을 제거하여보다 깨끗한 유리 표면을 남긴다.

세정 효율 평가

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