고급 현미경 서비스

고급 현미경 기술 SEM (주사 전자 현미경), TEM (투과 전자 현미경) 와 이중 빔 SEM 입자 미세 구조, 형태, 입자 크기, 입자 코팅 및 결함을 조사하는 데 필수적인 기술입니다. 이러한 기술은 종종 다음과 같은 요소 매핑 기능을 사용합니다. EELS (전자 에너지 손실 분광법) 와 EDS (Energy Dispersive X-Ray Spectroscopy) 구성 요소 및 위치 / 분포에 대한 중요한 정보를 제공합니다.

EAG는 광범위하고 다양한 설치 기반을 제공합니다. 현미경 사용 프로세스 개발에서 장애 분석에 이르기까지 애플리케이션에 맞는 도구 및 서비스 당사의 분석 기능은 고해상도 이미징을 제공 할뿐만 아니라 연구, 개발 및 장애 분석 중에 도움을 줄 수있는 고유 한 파트너입니다.

현미경 기술은 여러 유형의 결함을 특성화하는 데 사용할 수 있습니다. 여기에는 다음이 포함됩니다.

• 금속 이동 : FIB 횡단면 및 STEM / EDS 조사
• 공극 : SEM에 의한 FIB 단면 및 조사
• Particles : 레이어 스택의 크기, 화학 및 위치를 조사하기위한 표면 이미징 또는 FIB 단면
• 균열 및 박리 : 작은 면적의 FIB 단면 또는 넓은 면적의 아르곤 이온 밀링 단면이 위치와 박리 된 경계면을 결정합니다. 필요한 경우, 인터페이스 화학은 TEM 미세 분석에 의해 결정될 수 있습니다.
• 두께 및 균일 성 : FIB 단면 및 SEM에 의한 조사

고급 현미경 검사 기술을 사용하여 테스트 한 재료 유형 :

• 나노 입자
• 합금 및 금속
• 박막
• 유리, 실리콘 또는 탄소 기반의 기판에 코팅
• 도예
• 복합 재료
• IC 장치
• 알루미늄 양극 산화 처리

현미경의 산업 응용

얼굴 인식, 자율 주행, 가상 현실, 5G 통신과 같은 새로운 산업을 가능하게 한 새로운 기술의 급속한 출현이있었습니다. 이러한 성장 영역에는 일반적으로 FinFET, VCSEL 및 III / V 화합물 반도체가 포함됩니다. Advanced Microscopy 팀의 경우 재료는 이종 에피 택시, 입방체 및 육각형 격자를 나타내며, 장치의 고장은 종종 복잡한 3D 구조를 갖습니다.

최근 FIB 기술의 개발로 3D 로직 및 메모리 장치의 고정밀 TEM 샘플 준비가 가능합니다. 이 예는 L이있는 22nm 세대 3D FinFET 장치에서 게이트 컷의 HAADF 이미지를 보여줍니다._문EAG Laboratories Advanced Microscopy 팀의 최근 논문에서 볼 수있는 ~ 30nm 현미경 및 미세 분석 25 (S2) : 690-691 (2019) "전자 현미경의 산업 응용 : 공유 실험실 관점"

또 다른 흥미로운 예는 HR-STEM 이미징을 사용하여 관찰 된 질화 알루미늄 / 실리콘 카바이드 인터페이스를 보여주는 아래 그림입니다.

아래 예에서 GaN 전위 타이핑 : 큰 수렴형 빔 전자 회절 (LACBED)을 사용한 버거 벡터 분석

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