재료 특성화

다른 분석 접근법은 다른 물질 특성화 서비스를 필요로합니다. EAG Laboratories는 고객에게 답변을 제공하기 위해 30의 다양한 재료 특성화 방법을 사용합니다. 일반적으로 주어진 문제에 사용되는 기술 또는 일련의 기술은 필요한 정보와 샘플의 형태에 따라 선택됩니다. 액체 및 가스 샘플링도 가능하지만 대부분의 일반적인 기술은 고체 샘플 분석을위한 것입니다.

EAG의 재료 특성화 서비스는 다음에 적용될 수 있습니다.

  • 연구 및 개발 : 기본 연구 및 새로운 개념 및 재료 테스트 용
  • 프로세스 개발 : 새로운 프로세스, 디자인 및 도구를 테스트합니다.
  • 제작 : 들어오는 자료를 확인합니다. 모니터링; 품질 관리
  • 프로세스 개선 : 프로세스 변경 및 후속 프로세스 성능 모니터링
  • 고장 분석 : 오염 / 결함 분석에 대한 문제를 조사합니다. 오염원을 확인한다. 좋은 / 나쁜 비교를 위해

어떤 경우에는 관심있는 재료가 이미 확인되었지만 인터페이스 선명도, 특정 요소의 깊이 분포, 형태, 결정 구조, 두께, 응력 및 품질 (또는 기타 여러 특성)과 같은 특정 속성에 대한 추가 정보가 필요합니다. . 다른 경우에는 관심있는 재료 또는 구성 요소가 식별되지 않았고 특성이 잘 지정되지 않았습니다. 자료의 정체성과 구성에 대한 정보가 필요합니다.

다음은 재료 특성화 방법이 매우 유용한 영역입니다.

박막 분석

박막 분석은 사용되는 기법의 선택에 큰 영향을 미치는 다양한 시나리오를 다룹니다.

  • 필름 두께는 옹스트롬 / Å (10-10μm), μm / μm 범위 (10-6m) 최대 mm / mm (10-3엠).
  • 측정 감도는 원자 % 범위에서 10 억 분율 (ppb)까지 기술마다 다릅니다.
  • 측면 분석 영역은 효과적으로 크기에 제한이 없거나 매우 제한 될 수 있습니다.

필름은 일반적으로 두 가지 방식으로 분석 할 수 있습니다. 수직, 위에서 아래로 또는 아래에서 위로; 또는 횡단면으로 수평으로. 표면에서의 하향식 분석은 거칠기, 형태, 표면 구성 및 오염물 정보를 제공 할 수 있습니다. 후속 스퍼터링은 두께, 구성, 요소의 수직 분포, 도펀트 및 오염 수준과 같은 추가 정보를 발견 할 수 있습니다. 단면 분석을 통해 층 두께, 입자 크기 및 결정도를 확인할 수 있습니다.

깊이 프로파일 링

깊이 프로파일은 깊이 (x 축)에 대한 농도 (y 축)를 나타내는 플롯입니다. 그것들은 깊이와 관련하여 특정 관심 종을 지속적으로 모니터링함으로써 얻어 질 수 있습니다 (예. SIMS 분석 서비스), 또는 재료를 제거하고, 측정 한 다음 단계를 반복함으로써 단계적으로 (예 : XPS or Auger). 관심있는 층의 두께와 필요한 검출 한계 (또는 달성 할 수있는)는 주어진 샘플에 대한 최상의 기술 결정에 중요한 요소입니다.

측정 및 샘플의 잠재적 인 복잡성으로 인해 수행되지 않고 올바르게 해석되면 인공물 및 오류가 깊이 프로파일에 도입 될 수 있습니다. EAG는 여러 샘플 유형에 대한 수년 간의 경험을 바탕으로 불필요한 인공물을 도입하지 않고 최적화 된 조건에서 깊이 프로파일을 얻는 방법을 철저히 이해하고 있습니다. 마찬가지로, EAG가 제공 한 데이터의 정확하고 정확한 해석도 매우 중요합니다.

결정 성

대부분의 다른 물질 특성 분석 기술은 샘플로부터 원소 또는 분자 정보를 제공하지만 X 선 회절 (XRD)는 구조, 결정질 상 (다 형체), 선호되는 결정 배향 (텍스쳐), 및 결정자 크기, 결정화도 퍼센트, 변형률, 응력 및 결정 결함과 같은 다른 구조 파라미터에 관한 다양한 정보를 제공함에있어서 독특하다.

재료 특성화 테스트 요구 사항에 대해서는 EAG Laboratories (800 – 366-3867)에 문의하십시오.

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