핵 반응 분석 (NRA)

NRA (Nuclear Reaction Analysis)는 박막에서 낮은 Z 원소 (예 : 탄소, 질소, 산소 및 붕소)를 측정하는 데 사용됩니다. NRA 분석 중에 XNUMX 차 발사체는 박막의 낮은 Z 핵과 핵 반응을 유도하여 특정 핵 반응 (즉, 특정 원소)의 운동 에너지 특성을 가진 입자를 방출합니다.

NRA를 상업적으로 제공하거나 EAG의 깊이와 폭의 경험, 정확한 데이터 및 개인 대 개인 서비스와 일치하는 실험실은 거의 없습니다.

NRA는 필름에 존재하는 B, C, N, O 및 Li의 총 농도를 정량적으로 측정하는 데 사용할 수 있습니다. 이러한 요소는 NRA를 사용하여 훨씬 낮은 농도에서 측정 할 수 있습니다. RBS. RBS와 함께 NRA를 수행함으로써 박막의 경 원소의 농도를 결정할 수 있습니다.

NRA의 이상적인 사용

  • 박막에서 B, C, N, O 및 Li의 낮은 수준 측정

장점

  • 비파괴 조성 분석
  • 표준물질이 필요없는 정량
  • 전체 웨이퍼 분석 (최대 300 mm)
  • 도체 및 절연체 분석
  • 낮은 Z 요소 민감도

제한 사항

  • 넓은 분석 영역(~1-2mm 직경)
  • 깊이 해상도 없음
  • 각 요소는 특정 발사체를 필요로하므로 관심있는 요소에 따라 여러 번 측정해야 할 수 있습니다.

NRA 기술 사양

  • 검출원소 : C, N, O, B, Li
  • 검출한계 : 0.5 – 2 at %
  • 심도 분해능 : 없음
  • 이미징 / 매핑 : 아니
  • 측면 해상도 / 프로브 크기 : ~1-2mm

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