表面污染的表征

应用笔记

讨论

元素表征 缺陷和 污染 on 面 是必需品 故障分析. 能量色散X射线光谱仪（EDS），结合 扫描电子显微镜（SEM） 提供了一种快速有效的工具，用于表征大约1μm或更大的颗粒和缺陷。 现代仪器允许检测轻元素（B到F），以及更高的Z元素，以及同时成像多个元素。 图1中显示了七种元素的横向分布以及二次电子和背散射电子图像。 从该图像集合中可以容易地确定污染物是含碳材料和Mg，Al和Si的氧化物的聚集体。

图1 表面缺陷的二次电子图像（SEI）和相关的EDS元素图像和背散射电子图像。

对于小于1微米的颗粒和缺陷，理想的工具是 俄歇电子能谱（AES）。 使用该仪器，可以在特征上表征200Å这样小的特征。 图2给出了一个例子。 在硅晶片上的500Å颗粒的俄歇测量光谱显示颗粒含有铝。

图2 二次电子图像（左上）中显示的500Å粒子的俄歇测量光谱（底部）显示铝污染。 Al地图显示在右上角。