EDS和EELS之间的比较

EDS(能量色散X射线光谱法)和EELS(电子能量损耗光谱法)是与电子显微镜(如TEM(透射电子显微镜))集成的元素分析技术。 两种技术都可以对材料的元素分布和浓度进行纳米级或原子级的直接观察和半定量分析,从而能够精确测量FINFET或3D NAND等小型复杂结构。

但是,EDS和EELS的分析需要不同的工具配置,电子束设置和分析方法。 通常不清楚哪种技术更适合某种分析。 在本应用笔记中,我们通过横截面3D NAND闪存样品和门切割FINFET样品的案例研究,比较了EDS和EELS各自的优势和局限性。 我们还展示了同时执行EELS和EDS的能力,结合了它们各自的优势。

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