应用笔记
讨论
SIMS 是一种强大的分析技术，可以检测从H到U的所有元素，具有出色的灵敏度。 该表提供了SiC基质中杂质的典型检测限的列表。 这些检测水平是正常的 深度剖析 毯式晶圆的条件。
*可以通过光栅变换技术实现
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