电子束感应电流(EBIC)

EBIC(电子束感应电流)是一种 扫描电子显微镜(SEM)用于半导体器件的基于技术的技术。 与阴极发光(CL)一样,该技术依赖于通过SEM的高能电子束产生电子 - 空穴对(EHP)来产生分析信号。 EBIC利用连接在器件的p侧和n侧之间的敏感微微安培计来测量在电视束以平面图(PV)或横截面扫描样品时流动的电流或EBIC( XS)。 然后,EBIC信号的强度对应于pn结周围的内置电场的强度。 充当重组位点的缺陷显示出显着较低的EBIC信号。

通常,同时捕获EBIC和二次电子(SE)信号,提供EBIC的补充空间图以及地形和/或组成信息。 EBIC是一种非常有效的技术,用于在2-50nm精度的大面积(mm ^ 100)器件中定位隐藏的电活性缺陷,用于进一步的根本原因故障分析(FA),如平面图(PV)或横截面(XS) SEM或扫描透射电子显微镜(STEM)。

此外,电子束感应电流可用于定量确定复杂异质外延结构中pn结的垂直位置,例如发光二极管(LED),垂直腔面发射激光器(VCSEL)和边缘发射激光器中的结构。 。 在一些情况下,也可以从相同的定量XS-EBIC数据计算少数载流子扩散长度的估计值。

EBIC的理想用途

  • 半导体故障分析 - 深FA的缺陷定位
  • 器件特性 - 结点位置和少数载流子扩散长度

我们的强项

  • 非常适合在大面积设备中查找隐藏的本地化故障站点
  • XS中pn结位置的确定

限制

  • 样品中必须存在pn结
  • 可接受的最大泄漏电流大约为10uA,否则EBIC数据可能太嘈杂,无法进行可用的分析

EBIC技术规格

  • 检测到信号:电子束感应电流(EBIC)
  • 成像/映射:是
  • 横向分辨率:根据SEM条件和样品成分/拓扑结构,通常在20 nm – 500 nm之间变化

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