电热蒸发（ETV）与电感耦合等离子体发射光谱（ICP-OES）或电感耦合等离子体质谱（ICP-MS）相结合，是一种快速，直接测定宽范围痕量和超痕量分析物的强大技术样品直接没有或最少的样品制备。 这种固体取样技术具有极高的灵敏度，可实现快速化学分析。 与基于喷雾器的样品引入系统相比，灵敏度的提高源于高分析物转运效率（25-80％）。
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