FIB 회로 수정 및 디버그

Focused Ion Beam 또는 FIB 회로 편집 서비스를 통해 고객은 트레이스를 자르거나 칩 내에 금속 연결을 추가 할 수 있습니다. 당사의 서비스에는 샘플 준비, 샘플 분석, 오류 격리 및 실제 회로 수정이 포함됩니다. 이러한 회로 편집은 기본 전기 설계 특성화 또는 재 설계 매개 변수 검증을 지원할 수 있습니다. 당사의 모든 디버그 도구를 사용하면 가장 성가신 논리 오류 및 기타 이상 현상도 해결할 수 있습니다.

FIB 회로 편집은 정밀하게 초점을 맞춘 Ga + 이온 빔을 사용하여 집적 회로의 재료를 이미지화, 에칭 및 증착합니다. 빔의 4-5nm 해상도를 통해 매우 정밀한 편집이 가능합니다. FIB는 내비게이션 시스템 (Knights / Camelot / Lavis)에 연결되어 지하 기능을 찾고 올바른 편집이 이루어 지도록하는 방법을 제공합니다. 고 에너지 Ga 빔은 도체를 통해 밀링 할 수 있으며 적절한 가스 화학 물질을 사용하여 텅스텐, 백금 또는 이산화 규소를 이온 빔을 사용하여 정확하게 증착 할 수 있습니다.

집속 이온 빔 회로 편집은 팹에서 새로운 많은 웨이퍼 비용의 작은 부분으로 빠르고 쉽게 수행 할 수 있습니다. 회로 편집은 제안 된 수정으로 전체 문제를 해결할 수 있도록 설계 결함이 확인되면 종종 수행됩니다. 최첨단 장비와 특수 기술을 사용하여 28nm, 20nm 및 14nm와 같은 고급 프로세스 노드에서 다중 레이어 금속 스택과 플립 칩 패키지의 뒷면 편집을 통해 회로를 편집 할 수 있습니다. 우리의 전자 엔지니어 실리콘 밸리에서 다년간의 경험을 보유하고 있으며 가장 까다로운 요청을 수용하는 데 필요한 지식과 능력을 보유하고 있습니다. FIB 편집은 종종 신속한 처리가 필요하고 실수를 감당할 수 없습니다. 당사의 수년간의 경험과 고객 만족에 초점을 맞춘 EAG는 회로 편집에서 현명한 선택입니다.

EAG의 FIB 회로 편집 서비스에는 약 20nm 정확도로 수행 할 수있는 다음 프로세스가 포함됩니다.

  • 금속 증착
  • 유전체 증착
  • 재료 별 화학적 에칭 향상을 포함한 금속 및 유전체 에칭
  • 입사 이온빔을 이용한 장치 영상

이러한 기능을 통해 FIB는 몇 가지 주요 기능을 수행 할 수 있습니다.

  • 회로 논리를 수정하기 위해 신호선을 연결 및 절단하여 회로 편집
  • 원하는 트레이스를 노출하고 새로 형성된 프로브 패드에 연결하여 특정 위치에 프로브 패드 형성
  • 회로의 저항 증가 또는 감소
  • 고장 분석: FIB Passive Voltage Contrast (PVC) 결함 위치 파악은 해당하는 것보다 더 민감하고 재현 가능합니다. SEM. 흥미로운 특징이 관찰되면 FIB는 근본 원인을 파악하는 데 도움이되는 추가 정보를 제공 할 수 있습니다.
    • 결함 영역을 FIB에 표시하여 특성을 더 확인할 수 있습니다
    • 결함은 FIB에서 횡단면으로 찍을 수 있습니다.
    • 결함은 적절한 인접 회로 구성 요소를 절단하여 격리 할 수 ​​있습니다

EAG의 FIB 회로 편집 서비스가 전기 설계 char {“type”:”block”,”srcIndex”: 0,”srcClientId”:”091cce9e-97fa-446f-bf11-e8ce5c8fa4a7 ″,”srcRootClientId에 어떻게 도움이되는지 알아 보려면 지금 문의하십시오. ”:”e3e6ad13-e0dc-44db-9675-8e9d874b56ba”} 재 설계 프로젝트의 활성화 또는 검증.

우리 업계의 많은 전문가들은 회로 편집 Focused Ion Beam을 사용하는 것은 더 이상 20nm 미만의 프로세스 노드에 적합하지 않습니다. EAG Laboratories는 단일 자릿수 나노 미터 규모의 형상에 대한 회로 편집을 통해 고객을 지원할 수있었습니다. 고급 노드에서 장치 개발 비용이 10 천만 달러 이상에 달하는 상황에서이 애플리케이션 노트는 일반적인 용도와 당사 엔지니어가 장치 오류를 조기에 수정할 수 있도록이 기술의 한계를 뛰어 넘는 방법과 능력을 허용하는 방법에 대해 설명합니다. 고객 데모, 지속적인 개발 및 엔지니어링 테스트를 위해 수백 개의 편집 된 샘플을 생성합니다.

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