FIB 회로 수정 및 디버그

Focused Ion Beam 또는 FIB 회로 편집 서비스를 통해 고객은 칩 내에서 흔적을 자르고 금속 연결을 추가 할 수 있습니다. 당사의 서비스에는 샘플 준비, 샘플 분석, 결함 분리 및 실제 회로 수정이 포함됩니다. 이러한 회로 편집은 기본적인 전기 설계 특성화 또는 재 설계 파라미터 검증을 지원할 수 있습니다. 당사의 모든 디버그 도구를 사용하면 가장 번거롭던 로직 오류 및 기타 이상을 해결할 수 있습니다.

FIB 회로 편집은 미세 집속 된 Ga + 이온 빔을 사용하여 집적 회로의 재료를 이미지화, 에칭 및 증착합니다. 빔 4-5 nm 해상도는 매우 정확한 편집을 가능하게합니다. FIB는 지형지 물을 찾고 올바른 편집이 이루어 지도록하는 방법을 제공하는 네비게이션 시스템 (Knights / Camelot / Lavis)에 연결됩니다. 고 에너지 Ga 빔은 컨덕터를 통해 밀링 할 수 있으며, 적절한 가스 화학을 이용하여 밀링 할 수 있습니다. 텅스텐, 백금 또는 이산화 규소는 이온빔을 사용하여 정밀하게 증착 될 수있다.

집속 이온 빔 회로 편집은 팹에서 새로운 많은 웨이퍼 비용의 작은 부분으로 빠르고 쉽게 수행 할 수 있습니다. 제안 된 픽스가 전체 문제를 해결할 수 있도록 설계 결함을 식별하면 회로 편집 작업이 종종 수행됩니다. 최첨단 장비와 특수 기술을 통해 28nm, 20nm 및 14 nm과 같은 고급 프로세스 노드에서 다중 레이어 메탈 스택을 사용하여 회로를 편집 할 수 있으며 플립 칩 패키지의 뒷면 편집도 가능합니다. 우리의 전자 엔지니어 실리콘 밸리에서 다년간의 경험을 보유하고 있으며 가장 까다로운 요청을 수용하는 데 필요한 지식과 능력을 보유하고 있습니다. FIB 편집은 종종 신속한 처리가 필요하고 실수를 감당할 수 없습니다. 당사의 수년간의 경험과 고객 만족에 초점을 맞춘 EAG는 회로 편집에서 현명한 선택입니다.

EAG의 FIB 회로 편집 서비스에는 대략 다음과 같은 프로세스가 포함되며, 모두 20nm 정확도로 수행 할 수 있습니다.

  • 금속 증착
  • 유전체 증착
  • 금속 및 유전체 에칭; 재료 특정 화학적 에칭 강화를 포함하여
  • 입사 이온빔을 이용한 장치 영상

이러한 기능을 통해 FIB는 몇 가지 주요 기능을 수행 할 수 있습니다.

  • 회로 논리를 수정하기 위해 신호선을 연결하고 절단하여 회로를 편집합니다.
  • 원하는 궤적을 드러내고 새로 형성된 프로브 패드에 연결하여 특정 위치에서 프로브 패드를 형성합니다.
  • 회로의 저항을 높이거나 낮 춥니 다.
  • 고장 분석: FIB Passive Voltage Contrast (PVC) 결함 위치 파악은 해당하는 것보다 더 민감하고 재현 가능합니다. SEM. 흥미로운 특징이 관찰되면 FIB는 근본 원인을 파악하는 데 도움이되는 추가 정보를 제공 할 수 있습니다.
    • 결함 영역을 FIB에 표시하여 특성을 더 확인할 수 있습니다
    • 결함은 FIB에서 횡단면으로 찍을 수 있습니다.
    • 결함은 적절한 인접 회로 구성 요소를 절단하여 격리 할 수 ​​있습니다

EAG의 FIB 회로 편집 서비스가 전기 설계 char {“type”:”block”,”srcIndex”: 0,”srcClientId”:”091cce9e-97fa-446f-bf11-e8ce5c8fa4a7 ″,”srcRootClientId에 어떻게 도움이되는지 알아 보려면 지금 문의하십시오. ”:”e3e6ad13-e0dc-44db-9675-8e9d874b56ba”} 재 설계 프로젝트의 활성화 또는 검증.

우리 업계의 많은 전문가들은 회로 편집 Focused Ion Beam을 사용하는 것은 더 이상 20nm 미만의 프로세스 노드에 적합하지 않습니다. EAG Laboratories는 단일 자릿수 나노 미터 스케일로 형상의 회로 편집을 고객에게 지원할 수있었습니다. 고급 노드에서 장치 개발 비용이 10 천만 달러 이상에 달하는 상황에서이 애플리케이션 노트는 일반적인 용도와 당사 엔지니어가 장치 오류를 조기에 수정하고 기능을 허용하기 위해이 기술의 한계를 뛰어 넘는 방법에 대해 설명합니다. 고객 데모를 위해 수백 개의 편집 샘플을 생성하고 지속적인 개발 및 엔지니어링 테스트를 수행합니다.

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