광학 프로파일 법 (OP)

광학 프로파일 로메 트리 (OP), 일명 백색광 간섭계 (WLI)는 표면 지형을 특성화하기위한 비접촉 간섭계 기반 방법입니다. 일반적인 광학 프로파일로 미터 분석은 2D 및 3D 이미지를 제공합니다. 표면 분석, 수많은 거칠기 통계 및 기능 치수. 이러한 표준 측정 외에도 EAG는 최첨단 Bruker Contour GTX-8 3D 및 NPFlex 광학 기기를 사용하여 많은 고급 광학 프로파일 로메 트리 분석을 수행 할 수 있습니다. 여기에는 다음이 포함됩니다.

패턴 화 된 웨이퍼 또는 다이 피처와 같은 단일 샘플에서 수백 가지 피처의 높은 처리량 측정을위한 분석 자동화
투명 연속 필름의 두께 측정

Optical profilometry는 이미징 섹션의 일부입니다. 스마트 차트

OP는 광범위한 시료 형상을 수용 할 수있어 광범위한 응용 분야와 시료 유형에 적합하며 넓은 범위의 가능한 분석 치수와 광범위한 잠재 표면 거칠기를 포괄하는 다양한 Z- 범위를 제공합니다. EAG는 우리의 고객과 협력하여 3D 광학 현미경 검사기로 가장 까다로운 샘플조차도 분석 할 수있는 독특한 방법을 개발합니다.

Optical Profilometry의 이상적인 사용

스텝 높이 및 치수 측정
기계 부품의 마모 및 마찰 특성화
플립 칩 및 기타 고급 패키징과 같은 솔더 범프 높이의 일관성 결정
접착 성, 부식성, 외관과 같은 재료 특성과 조도 측정치의 상관 관계
마이크로 유체 채널, 광학 장치 등의 곡률 반경 측정
MEMS 제조와 같은 코팅 / 가공 웨이퍼의 활 평가
연속적인 투명 필름의 두께를 정량화 (즉, 물리적 단계가 필요 없음)
다이 또는 웨이퍼상의 다중 피처의 고효율 스크리닝

장점

첫째, 가능한 광범위한 분석 영역, 피처 높이 및 거칠기 통계
둘째, 매우 크고 매우 작은 샘플 크기를 수용합니다.
셋째, 비파괴 / 비접촉 애플리케이션 용
마지막으로 속도가 빠르기 때문에 여러 번의 반복 측정에 적합합니다.

제한 사항

특정 샘플 유형의 광학 아티팩트에 대한 가능성
매우 가파르고 거친 표면에 대한 신호 검출 불량
필름은 연속 필름 두께 측정을 위해 투명하고 굴절률이 알려져 있어야합니다.

광학 Profilometry 기술 사양

측면 해상도: 0.5μm (최상)
높이 해상도: 0.01nm (PSI) 또는 6nm (VSI)
최대 기능 높이: 10 mm
최소 이미지 크기: 0.06 × 0.047mm²
최대 이미지 크기: 2.2 × 1.1mm² (단일 이미지); 70 × 70mm² (스티칭 된 이미지)
최대 샘플 크기: 직경 300mm, 무게 100lbs, 높이 4 ″ / 100mm
도막 두께: 150 µm ~ 2 µm 두께