EGA는 실온 이상으로 가열 될 때 샘플에서 방출 된 소량의 가스 분자를 모니터링하는 방법입니다. 이 분석은 주로 다음을 결정하는 데 사용될 수 있습니다. 이 정보는 품질 관리, 고장 분석 또는 제조 공정을위한 프로토콜 설정에 필수적입니다.
EAG Laboratories에서 우리는 반도체, 항공 우주 및 방위, 코팅 및 접착제, 에너지 저장 및 배터리 및 의료 기기를 포함한 다양한 산업에 솔루션을 제공하는 다양한 샘플에 대해 진화된 가스 분석을 성공적으로 사용하고 있습니다.
EGA (Evolved Gas Analysis) 란 무엇입니까?
기체 분자는 실온 이상으로 가열될 때 표면/고체/분말에서 방출됩니다. EGA 방법에서 샘플은 주변으로부터 가스를 최소화하기 위해 비워집니다. 진공이 배경 수준에 도달하면 샘플이 가열되고 방출된 가스가 질량 분석기 부피로 확장됩니다. 토리아 코팅된 이리듐 필라멘트를 사용하여 기체를 이온화하여 사중극자 질량 분석기를 사용하여 질량 분리를 용이하게 합니다. 양이온 전류는 전자 증배기를 사용하여 측정되어 샘플에서 방출되는 각 가스의 강도를 제공합니다.
반 정량
정성 스캔
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가스 방출 온도와 관련하여 다른 질량에 대한 질량 방출 신호를 보여주는 3 차원 표현. 화학적으로 처리 된 것과 처리되지 않은 Si 웨이퍼의 비교는 세정 처리의 효과를 분명히 보여준다. 질량 44 (예 : CO)에 대한 더 높은 방출2) 및 질량 28 (예 : N2처리되지 않은 샘플의 경우 / CO)가 관찰됩니다.
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