진화 된 가스 분석 (EGA)

EGA는 실온 이상으로 가열 될 때 샘플에서 방출 된 소량의 가스 분자를 모니터링하는 방법입니다. 이 분석은 주로 다음을 결정하는 데 사용될 수 있습니다. 이 정보는 품질 관리, 고장 분석 또는 제조 공정을위한 프로토콜 설정에 필수적입니다.

EAG Laboratories에서 우리는 반도체, 항공 우주 및 방위, 코팅 및 접착제, 에너지 저장 및 배터리 및 의료 기기를 포함한 다양한 산업에 솔루션을 제공하는 다양한 샘플에 대해 진화된 가스 분석을 성공적으로 사용하고 있습니다.

EGA (Evolved Gas Analysis) 란 무엇입니까?

원칙

기체 분자는 실온 이상으로 가열될 때 표면/고체/분말에서 방출됩니다. EGA 방법에서 샘플은 주변으로부터 가스를 최소화하기 위해 비워집니다. 진공이 배경 수준에 도달하면 샘플이 가열되고 방출된 가스가 질량 분석기 부피로 확장됩니다. 토리아 코팅된 이리듐 필라멘트를 사용하여 기체를 이온화하여 사중극자 질량 분석기를 사용하여 질량 분리를 용이하게 합니다. 양이온 전류는 전자 증배기를 사용하여 측정되어 샘플에서 방출되는 각 가스의 강도를 제공합니다.

공통 응용 프로그램

반 정량

  • 비교 연구 : 양호 나쁜 샘플
  • 밀폐형 전자 부품의 웨이퍼 레벨 고장 분석
  • SS 부품의 UHV 등급 청소 품질 확인
  • 특정 온도에서의 가스 방출 비교 연구
  • 직접 가스 분석
  • 밀폐 장치의 기밀 밀봉에서 가스 제거
  • 진공 캐비티 내부의 게터의 효능
  • 탈기 속도 (몰 / cm2/비서)
  • 가스 방출 후 캐비티에서 방출 된 가스 (진공 피어싱)

정성 스캔

  • 온도를 올리는 동안 대량 스캐닝
  • 온도의 3 차원 플로팅vs-질량-vs-신호
  • 비교 스캔 : 양호 나쁜 샘플

가스 방출 온도와 관련하여 다른 질량에 대한 질량 방출 신호를 보여주는 3 차원 표현. 화학적으로 처리 된 것과 처리되지 않은 Si 웨이퍼의 비교는 세정 처리의 효과를 분명히 보여준다. 질량 44 (예 : CO)에 대한 더 높은 방출2) 및 질량 28 (예 : N2처리되지 않은 샘플의 경우 / CO)가 관찰됩니다.

EGA의 이상적인 용도

  • 고체 및 가스 샘플에서 가스 종 조사
  • 온도에 대한 프로파일 가스 방출
  • 밀폐 패키지의 고장 분석
  • 금속 및 청정도 조사를위한 탈 기율

장점

  • 1 ~ 200 원자 질량 단위 (amu)의 모든 가스 종은 초고 진공 (~ 10-9 토르)
  • 다양한 유형의 시료 (고체, 분말 및 가스)를 수용 할 수있는 유연한 샘플링 설비
  • 높은 가열 범위 : 24 ° C ~ 1000 ° C, 낮은 가열 속도는 분당 0.01 ° C

제한 사항

  • 보통 탐지 한계
  • 대부분의 분석은 표준 일상 분석과 달리 프로젝트 기반입니다

EGA 기술 사양

  • 감지 된 신호 : XNUMX 중 극자 질량 분석기를 사용한 질량 분해 양이온의 이온 전류 측정
  • 질량 범위 : 1 ~ 200 원자 질량 단위 (amu)
  • 감지 한계 : ~ 1000ppm

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