EGA는 실온 이상으로 가열 될 때 샘플에서 방출 된 소량의 가스 분자를 모니터링하는 방법입니다. 이 분석은 주로 다음을 결정하는 데 사용될 수 있습니다. 이 정보는 품질 관리, 고장 분석 또는 제조 공정을위한 프로토콜 설정에 필수적입니다.
EAG Laboratories에서는 반도체, 항공 우주 및 방위, 코팅 및 접착제, 에너지 저장 및 배터리, 의료 기기 등 다양한 산업에 솔루션을 제공하는 다양한 샘플에 대해 진화 된 가스 분석을 성공적으로 사용하고 있습니다.
EGA (Evolved Gas Analysis) 란 무엇입니까?
가스 분자는 실온 이상으로 가열 될 때 표면 / 고체 / 분말에서 방출됩니다. EGA 방법에서는 주변의 가스를 최소화하기 위해 샘플을 비 웁니다. 진공이 배경 레벨에 도달하면, 샘플이 가열되고 방출 된 가스가 질량 분석기 부피로 팽창됩니다. 토리아 코팅 이리듐 필라멘트를 사용하여 XNUMX 중 극자 질량 분석기를 사용하여 기체를 이온화하여 질량을 쉽게 분리 할 수 있습니다. 샘플에서 방출 된 각 가스의 강도를 제공하는 전자 승수를 사용하여 양이온 전류를 측정합니다.
반 정량
정성 스캔
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가스 방출 온도와 관련하여 다른 질량에 대한 질량 방출 신호를 보여주는 3 차원 표현. 화학적으로 처리 된 것과 처리되지 않은 Si 웨이퍼의 비교는 세정 처리의 효과를 분명히 보여준다. 질량 44 (예 : CO)에 대한 더 높은 방출2) 및 질량 28 (예 : N2처리되지 않은 샘플의 경우 / CO)가 관찰됩니다.
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