진화 된 가스 분석 (EGA)

EGA는 실온 이상으로 가열 될 때 샘플에서 방출 된 소량의 가스 분자를 모니터링하는 방법입니다. 이 분석은 주로 다음을 결정하는 데 사용될 수 있습니다. 이 정보는 품질 관리, 고장 분석 또는 제조 공정을위한 프로토콜 설정에 필수적입니다.

EAG Laboratories에서는 반도체, 항공 우주 및 방위, 코팅 및 접착제, 에너지 저장 및 배터리, 의료 기기 등 다양한 산업에 솔루션을 제공하는 다양한 샘플에 대해 진화 된 가스 분석을 성공적으로 사용하고 있습니다.

EGA (Evolved Gas Analysis) 란 무엇입니까?

원칙

가스 분자는 실온 이상으로 가열 될 때 표면 / 고체 / 분말에서 방출됩니다. EGA 방법에서는 주변의 가스를 최소화하기 위해 샘플을 비 웁니다. 진공이 배경 레벨에 도달하면, 샘플이 가열되고 방출 된 가스가 질량 분석기 부피로 팽창됩니다. 토리아 코팅 이리듐 필라멘트를 사용하여 XNUMX 중 극자 질량 분석기를 사용하여 기체를 이온화하여 질량을 쉽게 분리 할 수 ​​있습니다. 샘플에서 방출 된 각 가스의 강도를 제공하는 전자 승수를 사용하여 양이온 전류를 측정합니다.

공통 응용 프로그램

반 정량

• 비교 연구 : 양호 대 나쁜 샘플
• 밀폐형 전자 부품의 웨이퍼 레벨 오류 분석
• SS 부품의 UHV 등급 청소 품질 확인
• 특정 온도에서 가스 방출에 대한 비교 연구
• 직접 가스 분석
• 밀폐 장치의 기밀 밀봉에서 가스 제거
• 진공 캐비티 내부의 게터의 효능
• 탈기 속도 (몰 / cm²/비서)
• 가스 방출 후 캐비티에서 방출 된 가스 (진공 피어싱)

정성 스캔

• 온도를 올리는 동안 대량 스캐닝
• 온도의 3 차원 플로팅vs-질량-vs-신호
• 비교 스캔 : 양호 대 나쁜 샘플

가스 방출 온도와 관련하여 다른 질량에 대한 질량 방출 신호를 보여주는 3 차원 표현. 화학적으로 처리 된 것과 처리되지 않은 Si 웨이퍼의 비교는 세정 처리의 효과를 분명히 보여준다. 질량 44 (예 : CO)에 대한 더 높은 방출₂) 및 질량 28 (예 : N₂처리되지 않은 샘플의 경우 / CO)가 관찰됩니다.

EGA의 이상적인 용도

• 고체 및 가스 샘플에서 가스 종 조사
• 온도에 대한 프로파일 가스 방출
• 밀폐 패키지의 고장 분석
• 금속 및 청정도 조사를위한 탈 기율

장점

• 1 ~ 200 원자 질량 단위 (amu)의 모든 가스 종은 초고 진공 (~ 10^-9 토르)
• 다양한 유형의 시료 (고체, 분말 및 가스)를 수용 할 수있는 유연한 샘플링 설비
• 높은 가열 범위 : 24 ° C ~ 1000 ° C, 낮은 가열 속도는 분당 0.01 ° C

제한 사항

• 보통 탐지 한계
• 대부분의 분석은 표준 일상 분석과 달리 프로젝트 기반입니다

EGA 기술 사양

• 감지 된 신호 : XNUMX 중 극자 질량 분석기를 사용한 질량 분해 양이온의 이온 전류 측정
• 질량 범위 : 1 ~ 200 원자 질량 단위 (amu)
• 감지 한계 : ~ 1000ppm