X 선 광전자 분광법 (XPS 분광법) 또는 화학 분석을위한 전자 분광법 (ESCA)

X- 선 광전자 분광법 (XPS 분광법) is ESCA (Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)라고도합니다.. X-선 광전자 분광분석법 정량적 원자 구성과 화학을 결정하는 데 사용됩니다.. 그것은이다 표면 분석 표면에서 약 50-100Å의 깊이까지 확장되는 샘플링 볼륨을 사용하는 기술. XPS Spectroscopy는 스퍼터 깊이 프로파일 링에도 사용할 수 있습니다. 이는 매트릭스 레벨 요소를 깊이의 함수로 정량화하여 박막을 특성화하는 데 유용합니다.

XPS 분광법은 원소 분석 기술입니다. 이는 감지 된 요소에 대한 화학적 상태 정보를 제공하는 데 있어서도 독특합니다. 황산염과 황화물 형태의 황을 구별하는 것이 좋습니다. 이 과정은 시료에 단색 X 선. 이로 인해 에너지가 샘플링 볼륨 내의 요소의 특징 인 광전자가 방출됩니다.

스마트 차트

XPS 분광기는 당사의 스마트 차트 시리즈. XPS 분광기는 H와 He를 제외한 모든 원소를 검출 및 정량화 할 수 있으며 화학적 상태 정보를 제공합니다. 강력한 설문 조사 분석 기술이되었습니다.

X- 선은 수 미크론 깊이의 샘플을 관통하고 샘플에서 전자를 강제합니다. 따라서 상위 100 대 암스트롱의 전자 만이 XPS 감지기에 도달 할 수있는 충분한 에너지를 가지고 있습니다.

첫째, XPS 분광법은 일반적으로 최고 감도에서 전체 에너지 범위 스캔을 보는 설문 조사로 시작됩니다. 따라서 표면의 요소를 식별하고 정량화 할 수 있습니다. 둘째, 우리는 일반적으로 고해상도 XPS 분석을 사용하여 더 높은 에너지 해상도에서 좁은 스캔을 사용하는 결합 상태를 결정합니다. 이것은 피크 위치와 피크 모양에서 화학적 결합 상태를 결정할 수 있습니다. 마지막으로 박막 구성을 결정하려면 원자 구성을 살펴볼 때 깊이 프로파일 분석이 유용합니다.

EAG는 다양한 응용 분야에서 X- 선 광전자 분광법을 사용하여 다양한 산업 분야의 고객을 지원합니다. 예를 들어, R & D, 프로세스 개발 / 개선 및 고장 분석.

XPS 분광학 예

XPS 분석의 예는 다음과 같습니다.

얼룩 및 변색 확인
세정 공정 특성화
파우더 및 파편 조성 분석
오염원 결정
표면 변화를 확인하고 정량화하기 위해 가공 전후의 고분자 기능 검사
매트릭스 수준의 성분 및 오염 물질에 대한 박막 스택 (전도성 및 비전 도성)의 깊이 프로파일 확보 (낮은 % 수준까지)
샘플 사이의 산화막 두께의 차이 평가
하드 디스크의 윤활제 두께 측정

XPS 분광학 개요

적합한 용도

첫째, 유기 및 무기 물질, 얼룩 또는 잔류 물의 표면 분석
둘째, 표면에서 구성 및 화학적 상태 정보 결정
셋째, 박막 구성을위한 깊이 프로파일 링
또한 박막 산화물 두께 측정 (SiO₂, 알₂O₃)

XPS 강점

표면의 화학적 상태 식별
H와 He를 제외한 모든 요소의 식별
시료 간의 화학적 인 상태 차이를 포함한 정량 분석
단열 샘플 (종이, 플라스틱 및 유리 포함)을 포함한 다양한 재료에 적용 가능
매트릭스 수준 농도로 깊이 프로파일 링
산화막 두께 측정

XPS 제한

첫째, 감지 한계는 일반적으로 ~ 0.1 at %
둘째, 최소 분석 영역 ~ 10 µm
또한 제한된 특정 유기적 정보
마지막으로 UHV 환경과의 샘플 호환성

XPS 분광학 기술 사양

감지 된 신호 : 표면 원자 근처의 광전자
감지 된 요소 : Li-U 화학 결합 정보
검출 한계 : 0.01 – 1 at % 하위 단층
깊이 해상도 : 20 – 200Å (프로파일 링 모드); 10 – 100Å (표면 분석)
이미징 / 매핑 : 예
측면 분해능 / 프로브 크기 : 10µm – 2mm

무엇보다도 샘플의 화학적 구성에 대한 XPS 분광학 통찰력을 통해 제품 및 프로세스 개선을보다 신속하게 수행주기 시간을 단축하고 비용을 절감 할 수 있습니다.

또한 EAG를 사용하면 XPS 분광학 분석을 수행하는 데 사용할 수있는 최고의 시설, 기기 및 과학자를 이용할 수 있습니다. 우리는 다양한 산업의 다양한 재료를 취급하여 매우 광범위한 경험을 제공합니다. 마지막으로, 당사의 일대일 서비스는 귀하의 모든 질문에 대한 답변을받을 수 있도록 보장합니다.