纳米级PED的材料结构分析能力

引言

近年来,随着新技术的不断发展,此类设备和工艺的材料表征变得越来越具有挑战性。 材料表征,包括化学/元素分析和结构分析,不仅需要更高的灵敏度,而且还需要更小规模。 对于结构分析,传统的基于XRD和SEM的EBSD可以提供高精度的材料结构信息。 然而,直到最近,新兴的基于TEM的旋进电子衍射(PED)技术已开始将此分析带入纳米尺度,这对于满足当今积极地缩小尺寸的技术和纳米尺度结构分析的需求至关重要。流程。

在本应用笔记中,展示了各种器件(7nm EUV技术IC芯片和应变Si)中晶粒取向映射和应变映射的示例,以例证纳米级PED技术的材料结构分析能力。

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