FIB电路编辑和调试

聚焦离子束或 FIB 电路编辑服务允许客户在芯片内切割走线或添加金属连接。 我们的服务包括样品制备、样品分析、故障隔离和实际电路修改。 这些电路编辑可以支持基本的电气设计特性或重新设计参数的验证。 我们全系列的调试工具使您能够解决最棘手的逻辑故障和其他异常问题。

FIB 电路编辑采用精细聚焦的 Ga+ 离子束在集成电路上成像、蚀刻和沉积材料。 光束的 4-5 nm 分辨率允许进行极其精确的编辑。 FIB 与导航系统(Knights/Camelot/Lavis)相结合,提供了一种查找地下特征并确保进行正确编辑的方法。 高能 Ga 束可以磨穿导体,并且通过利用适当的气体化学物质,可以使用离子束精确沉积钨、铂或二氧化硅。

聚焦离子束电路编辑可以快速,轻松地完成,而成本只是工厂中新晶圆数量的一小部分。 一旦发现设计缺陷,通常会执行电路编辑,以确保提议的修复能够解决整个问题。 凭借我们最先进的设备和专业技术,我们可以在具有多层金属堆叠的 28 nm、20 nm 和 14 nm 等高级工艺节点上编辑电路,以及对倒装芯片封装进行背面编辑。 我们的 电子工程师 在整个硅谷拥有多年的经验,并具备满足最苛刻要求的必要知识和能力。 FIB编辑通常需要快速周转并且不能承担任何错误-我们多年的经验以及对客户满意度的关注使EAG成为电路编辑的明智之选。

EAG 的 FIB 电路编辑服务包括以下过程,所有这些过程都可以以大约 20 nm 的精度执行:

  • 金属沉积
  • 介电沉积
  • 金属和电介质蚀刻,包括材料特定的化学蚀刻增强
  • 使用入射离子束成像装置

这些功能允许FIB执行一些关键功能:

  • 通过连接和切断信号线来修改电路逻辑的电路编辑
  • 通过暴露所需的迹线并连接到新形成的探针焊盘,在特定位置形成探针焊盘
  • 增加或减少电路中的电阻
  • 故障分析:FIB无源电压对比(PVC)缺陷定位比相应的更灵敏,更可重复 SEM。 当观察到有趣的功能时,FIB能够提供其他信息以帮助确定根本原因。
    • 可以在FIB中标记缺陷区域以进一步表征
    • 可以在FIB中对缺陷进行横截面和成像
    • 可以通过切割适当的相邻电路元件来隔离缺陷

立即联系我们,以了解EAG的FIB电路编辑服务如何帮助电气设计char {“ type”:“ block”,“ srcIndex”:0:“ srcClientId”:“ 091cce9e-97fa-446f-bf11-e8ce5c8fa4a7”,“ srcRootClientId” ”:“ e3e6ad13-e0dc-44db-9675-8e9d874b56ba”}或重新设计项目的验证。

我们行业中的许多专家认为 电路编辑 对于 20 nm 以下的工艺节点,使用聚焦离子束不再可行。 EAG 实验室已经能够帮助我们的客户在个位数纳米尺度上对几何进行电路编辑。 随着先进节点设备的开发成本不断上升,达到 10 万美元以上,本应用说明将讨论典型用途以及我们的工程师如何突破该技术的极限以允许及早纠正任何设备错误,并允许生成数百个编辑样本用于客户演示、持续开发和工程测试。

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