电子背向散射衍射(EBSD)

电子背散射衍射(EBSD)是一种独特的技术,可用于表征样品的晶体学特性。 通过该技术可以表征诸如晶粒尺寸,晶粒形状,晶粒取向,晶界取向差,相的空间分布,局部变形和纹理等的特征。

EBSD分析是我们卓越能力的有力补充 X射线衍射(XRD) 服务。 我们的XRD工具和工作人员可以提供有关相ID,纳米晶粒度,薄膜厚度和纹理的无与伦比的信息; EBSD提供的新功能将提供空间信息,有助于可视化微观结构,增加对结晶样品的完整描述。

EBSD的理想用途

  • 用空间坐标可视化微结构
  • 在精确位置(例如近焊缝或半导体焊盘)上表征纹理
  • 与钢板和铝的表面质量相关的晶粒尺寸和纹理特征
  • 测量大颗粒,没有与LM相关的误差
  • 表征特殊的晶界,如CSL和双胞胎
  • 谷物误取向的测量
  • 通过检查颗粒内取向差和颗粒纵横比来表征变形
  • 外延生长薄膜的表征
  • 通过检查横截面来表征深度纹理

我们的强项

  • 直接测量晶粒度
  • 能够独特地表征单个晶界角度
  • 可以映射某些材料的相位分布
  • 可以将晶粒尺寸从几个nm的10映射到几个mm的10

限制

  • 无法测量非晶材料。
  • 区分不同阶段的能力中等

EBSD技术规格

  • 检测到信号: 衍射电子
  • 检测到的元素: 所有元素,假设它们存在于晶体基质中
  • 检测限: 晶粒度> 80 nm
  • 定量分析: 晶粒尺寸和相关测量:~10%

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