EGA是一种用于监测加热到室温以上时从样品中释放出的少量气体分子的方法。 该分析可主要用于确定:(1)逸出气体的成分(2)逸出气体的浓度(3)相对于加热温度的逸出曲线。 此信息对于质量控制,故障分析或为制造过程建立协议至关重要。
在 EAG 实验室,我们成功地将逸出气体分析用于各种样品,为不同行业提供解决方案,包括半导体、航空航天和国防、涂料和粘合剂、储能和电池以及医疗设备。
什么是演化气体分析(EGA)?
当加热到室温以上时,气体分子会从表面/固体/粉末中释放出来。 在 EGA 方法中,抽空样品以尽量减少来自周围环境的气体。 当真空达到背景水平时,样品被加热,释放出的气体然后膨胀到质谱仪体积。 使用钍涂层的铱丝,气体被电离以促进使用四极杆质量分析器的质量分离。 使用电子倍增器测量正离子电流,提供从样品中释放的每种气体的强度。
半定量
定性扫描
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3-D表示相对于排气温度显示了不同质量的质量释放信号。 化学处理的和未处理的硅晶片之间的比较清楚地表明了清洁处理的效果。 质量44(例如一氧化碳)的释放量更高2)和质量28(例如N2观察到未处理的样品。
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