演化气体分析（EGA）

EGA是一种用于监测加热到室温以上时从样品中释放出的少量气体分子的方法。 该分析可主要用于确定：（1）逸出气体的成分（2）逸出气体的浓度（3）相对于加热温度的逸出曲线。 此信息对于质量控制，故障分析或为制造过程建立协议至关重要。

在 EAG 实验室，我们成功地将逸出气体分析用于各种样品，为不同行业提供解决方案，包括半导体、航空航天和国防、涂料和粘合剂、储能和电池以及医疗设备。

什么是演化气体分析（EGA）？

原则

当加热到室温以上时，气体分子会从表面/固体/粉末中释放出来。 在 EGA 方法中，抽空样品以尽量减少来自周围环境的气体。 当真空达到背景水平时，样品被加热，释放出的气体然后膨胀到质谱仪体积。 使用钍涂层的铱丝，气体被电离以促进使用四极杆质量分析器的质量分离。 使用电子倍增器测量正离子电流，提供从样品中释放的每种气体的强度。

常见的应用

半定量

• 比较研究：好 与 不良样本
• 密封电子元件的晶圆级故障分析
• 确认SS零件的特高压等级清洁质量
• 特定温度下气体释放的对比研究
• 直接气体分析
• 密闭装置中气密密封的排气
• 真空腔内吸气剂的功效
• 脱气率（摩尔/厘米²/秒）
• 排气后（在真空中冲孔）在腔体中释放的气体

定性扫描

• 在升温的同时进行质量扫描
• 温度的3D绘图vs-质量-vs-信号
• 比较扫描：好 与 不良样本

3-D表示相对于排气温度显示了不同质量的质量释放信号。 化学处理的和未处理的硅晶片之间的比较清楚地表明了清洁处理的效果。 质量44（例如一氧化碳）的释放量更高₂）和质量28（例如N₂观察到未处理的样品。

EGA的理想用途

• 调查固体和气体样品中的气体种类
• 分析释放的气体温度
• 密封包装的失效分析
• 金属和清洁度调查的脱气率

我们的强项

• 可以在超高真空（〜1原子）下测量200至10原子质量单位（amu）的任何气体^-9 r
• 灵活的采样装置，可容纳各种类型的样品（固体，粉末和气体）
• 高加热范围：24°C至1000°C，加热速率低至0.01°C /分钟

限制

• 中等检出限
• 与标准例行分析不同，大多数分析都是基于项目的

EGA技术规格

• 检测到的信号：使用四极质谱仪测量质量分解的正离子的离子电流
• 质量范围：1至200原子质量单位（amu）
• 检出限：约百万分之1000（ppm）