동적 SIMS와 정적 SIMS에 대한 심층 분석

Eurofins EAG 연구소는 상업 분야의 세계 선두 주자입니다. 2 차 이온 질량 분석법 (SIMS) 분석 – 그리고 수십 년 동안 그래왔습니다. EAG는 정확한 농도 및 층 구조 식별과 함께 최고의 검출 한계를 제공합니다. SIMS 분야의 연구 개발에 대한 우리의 경험과 노력의 깊이와 범위는 타의 추종을 불허합니다.

EAG는 Charles Evans & Associates라는 이름으로 1978년에 설립되었습니다. 이 회사는 동적 SIMS로 시작하여 한 시점에서 TRIFT I 및 TRIFT II TOF-SIMS 도구와 같은 분석 기기를 생산 및 판매했습니다. 그 제조 사업은 1994년에 매각되었고 회사는 분석 서비스에 집중했습니다. SIMS 커뮤니티, 계측 및 시장이 발전함에 따라 다양한 유형의 SIMS 분석이 논의되는 방식도 진화했습니다.

SIMS란 무엇입니까?

SIMS는 'Secondary Ion Mass Spectrometry'의 약자입니다. 간단하게

SIMS 분석 서비스

용어로 XNUMX차 이온은 샘플에서 가속되고 해당 표면에서 방출되거나 스퍼터링되는 XNUMX차 이온을 측정합니다. 샘플에 닿는 XNUMX차 이온의 플럭스(또는 전류)에 따라 스퍼터링은 동적(연속 또는 고전류) 또는 정적(펄스 또는 저전류) 모드에서 발생합니다.

다이나믹 SIMS란 무엇입니까?

Dynamic SIMS(종종 SIMS로 축약됨)는 재료의 깊이 프로파일을 얻는 데 사용됩니다. 샘플에 충격을 가하는 XNUMX차 이온 빔이 연속 DC 빔인 경우 샘플의 실시간 스퍼터링과 샘플 표면의 침식이 몇 초, 몇 분 또는 몇 시간 동안 스퍼터 분화구를 볼 수 있게 됩니다. 이름의 역동적인 부분은 샘플이 XNUMX차 이온 빔에 노출되면 실시간으로 변경되고 가시적인 스퍼터 분화구가 생성된다는 사실에서 비롯됩니다.

정적 SIMS란 무엇입니까?

정적 XNUMX차 이온 질량 분석기 (static-SIMS)는 스퍼터링 공정에서도 XNUMX차 이온의 펄스 빔을 샘플 표면에 집중시켜 XNUMX차 이온을 생성하는 표면 분석 기술입니다. 예를 들어, XNUMX차 이온 빔이 매우 낮은 플럭스이거나 펄스 모드에서 작동되는 경우 샘플은 감지된 종과 관련하여 표면에 측정 가능한 변화가 거의 또는 전혀 없이 몇 분 동안 XNUMX차 빔에 노출될 수 있습니다. 샘플에서 유도된 명백한 변화가 없기 때문에 이 작동 모드는 샘플이 본질적으로 동일하게 유지되기 때문에 정적 SIMS로 알려져 있습니다. 기술적으로 정적 SIMS 분석을 위한 최고의 질량 분석기는 TOF(Time of Flight) 질량 분석기입니다. 따라서 정적 SIMS 기술은 다음과 같이 가장 일반적으로 알려져 있습니다.

그냥 TOF-SIMS. 이 경우 일반적인 이름은 기본 빔의 작동 모드가 아니라 질량 분석기 유형에서 따온 것입니다.

EAG는 SIMS 분석에서 업계를 선도합니다

40년 이상의 경험을 가진 EAG 알고있다 SIMS는 동적, 정적, TOF라고 하지 않습니다. Dynamic SIMS 분석에는 도펀트 및 불순물 깊이 프로파일링, 박막 특성화, 초고깊이 분해능, 대량 분석 및 공정 도구의 고정밀 매칭이 포함됩니다. TOF-SIMS 분석은 유기 및 무기 재료의 표면 특성화, 표면의 요소 및 분자 이미징, 고장 및 근본 원인 식별을 제공합니다. EAG 과학자는 작업을 지원하는 최상의 데이터를 얻을 수 있습니다. 오늘 저희에게 연락하십시오 모든 유형의 SIMS 분석과 오늘날 우리가 어떻게 협력할 수 있는지에 관한 EAG의 광범위한 지식과 경험에 대해 자세히 알아보십시오.

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