Focused Ion Beam (FIB) 장비는 미세하게 집속 된 이온빔을 사용하여 관심있는 표본을 수정하고 이미지화합니다. FIB는 주로 이후의 이미징을 위해 샘플의 매우 정확한 단면을 생성하는 데 사용됩니다. SEM, 줄기 또는 TEM 또는 회로 수정을 수행 할 수있다. 또한 FIB 이미징은 샘플을 직접 이미지화하고 이온 또는 전자 빔에서 방출 된 전자를 탐지하는 데 사용할 수 있습니다. FIB의 명암 메커니즘은 SEM 또는 S / TEM과 다르므로 일부 경우 고유 한 구조 정보를 얻을 수 있습니다. 이중 빔 FIB / SEM은이 두 기술을 하나의 도구에 통합하는 반면 단일 빔 FIB는 이온 빔만 포함하고 전자 빔 이미징은 별도의 SEM, TEM 또는 STEM 장비에서 수행됩니다.
샘플 준비 도구로서, FIB는 샘플의 교차 단면을 정확하게 생성 할 수 있습니다.
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