진보 된 현미경 : 이중 빔 - FIB (FIB 이미징 서비스)

Focused Ion Beam (FIB) 장비는 미세하게 집속 된 이온빔을 사용하여 관심있는 표본을 수정하고 이미지화합니다. FIB는 주로 이후의 이미징을 위해 샘플의 매우 정확한 단면을 생성하는 데 사용됩니다. SEM, 줄기 또는 TEM 또는 회로 수정을 수행 할 수있다. 또한 FIB 이미징은 샘플을 직접 이미지화하고 이온 또는 전자 빔에서 방출 된 전자를 탐지하는 데 사용할 수 있습니다. FIB의 명암 메커니즘은 SEM 또는 S / TEM과 다르므로 일부 경우 고유 한 구조 정보를 얻을 수 있습니다. 이중 빔 FIB / SEM은이 두 기술을 하나의 도구에 통합하는 반면 단일 빔 FIB는 이온 빔만 포함하고 전자 빔 이미징은 별도의 SEM, TEM 또는 STEM 장비에서 수행됩니다.

샘플 준비 도구로서, FIB는 샘플의 교차 단면을 정확하게 생성 할 수 있습니다.

• FIB 분석은 TEM 샘플에 대한 샘플 준비를 혁신적으로 만들었으므로 서브 마이크론 기능을 식별하고 단면을 정확하게 준비 할 수 있습니다.
• FIB 준비 섹션은 FIB 준비, SEM 이미징 및 원소 분석이 동일한 다중 기술 도구에서 발생할 수있는 SEM 현미경 검사에서 광범위하게 사용됩니다.
• FIB 준비 섹션은 Auger Electron Spectroscopy에도 사용되어 지하 표면 피쳐의 원소 식별을 빠르고 정확하게 제공합니다.
• 반도체 업계 및 표면 아래 입자 식별과 같이 작고 액세스하기 어려운 기능을 갖춘 제품을 검사하는 데 이상적인 도구입니다.
• 연마하기가 어려운 연질 폴리머와 같이 단면이 잘 잡히지 않는 제품에 적합한 옵션입니다.

FIB의 이상적인 사용

• SEM, STEM 및 TEM 시료 준비
• 작고 접근하기 어려운 샘플 형상의 고해상도 단면 이미지
• 경유 마이크로 샘플링 원위치 들어 올리다

장점

• 작은 표적을 횡단하는 가장 좋은 방법
• 신속한 고해상도 이미징
• 좋은 그레인 콘트라스트 이미징
• 다른 많은 도구를 지원하는 다목적 플랫폼

제한 사항

• 일반적으로 필요한 진공 호환성
• 이미징은 후속 분석을 망칠 수 있습니다.
• 분석면에 잔류하는 Ga
• 이온빔 손상으로 이미지 해상도가 제한 될 수 있음
• 단면적이 작다.

FIB 기술 사양

• 감지 된 신호 : 전자, 2 차 이온, X 선, 빛 (Cathodoluminescence)
• 이미징 / 매핑 : 가능
• 평면 분해능 / 샘플링 프로브 크기 : 7nm (이온 빔); 20nm (전자빔)