음극 발광 (CL)은 고 에너지 전자 (음극 광선)와 발광 물질의 상호 작용에 의해 생성되는 가시 광선 (VIS)에서 근적외선 (NIR)에 이르는 전자기 복사 또는 빛입니다. 방출되는 빛은 샘플의 광학적 및 전자적 특성에 대한 매우 구체적인 정보를 전달합니다.
특수화 된 사용 주사 전자 현미경 (SEM)가시 광선 수집, 해당 샘플 구조 (SE) 및 CL 방출 맵을 마이크로 미터 미만의 해상도로 동시에 획득 할 수 있습니다. 어떤 경우에는 CL 공간 분해능이 30-50 nm만큼 좋을 수 있습니다. CL 매핑은 단면 (XS) 또는 평면도 (PV)에서 모두 수행되어 매우 높은 공간 해상도로 샘플의 국부적 인 구성, 도핑, 구조 및 결함을 특성화 할 수 있습니다.
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