가장 중요한 질량 분석 기술 중 하나로 인식되고, ICP-MS (Inductively Coupled Plasma Mass Spectrometry)는 재료 과학의 샘플 특성화를위한 다중 요소 기능을 갖추고 있습니다. ICP-MS는 광범위한 요소에 대해 매우 높은 감도 (즉, 낮은 검출 한계)를 제공합니다. 고체 샘플은 일반적으로 폐쇄 형 마이크로 웨이브 시스템에서 산 조합을 사용하여 용해 또는 분해되므로 잠재적으로 휘발성 분석 물질 종을 유지합니다. 생성 된 샘플 용액은 약 9000K의 온도에 도달하는 유도 결합 아르곤 플라즈마의 코어로 분무됩니다. 이러한 고온에서 분무 된 용액은 기화되고 분석 물질은 원자화되고 이온화됩니다. 고온 아르곤 플라즈마 코어에서 생성 된 이온은 원소 및 동위 원소 분석을 위해 질량 분석기로 가속됩니다. 강도 측정은 교정 표준과 비교하여 원소 농도로 변환됩니다. 이 기술은 고순도 고형물의 정량 화학 분석에 특히 유용합니다.
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