Energy Dispersive X-ray Spectroscopy (EDS)는 두 가지 주요 전자 빔 기반 기술과 결합 할 수있는 화학 분석 방법입니다 of 주사 전자 현미경 (SEM), 투과 전자 현미경 (TEM) 및 주사 투과 전자 현미경 (STEM).
EDS를 이러한 이미징 도구와 결합하면 직경이 1나노미터(STEM)만큼 작은 영역에서 공간적으로 분해된 원소 분석을 제공할 수 있습니다. SEM에서 분석 부피는 더 크고 부피 범위는 아마도 0.1~3마이크론입니다. 샘플에 대한 전자빔의 영향은 샘플에 존재하는 요소의 특성인 x-선을 생성합니다. EDS 분석을 사용하여 개별 점, 선 스캔의 요소 구성을 결정하거나 이미지 영역에서 요소의 측면 분포를 매핑 할 수 있습니다.
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