Rutherford Backscattering Spectrometry (RBS)

RBS(Rutherford Backscattering Spectrometry)는 다성분계 박막 분석에 사용되는 이온 산란 분석기술입니다. RBS는 표준물질을 사용하지 않고도 정량분석이 가능한 독특한 분석법이며, RBS 분석중에는 고 에너지 (MeV) He2+ 이온(알파입자)을 시료에 조사하여 에너지 분포와 후방산란(back scattered)된 He2+ 이온의 양이 특정 각도에서 측정되게 되며, 각 원소별 후방 산란 단면은 이미 알려져 있으므로, 1μm 이하의 두께의 박막에 대하여 분석한 RBS 스펙트럼으로부터 구성 조성별 심도 정량분포(depth profile)를 얻을 수 있습니다.

원소 조성 외에도 RBS를 사용하여 단결정 샘플의 결정질 품질에 대한 정보를 얻을 수 있습니다. "채널링"이라고하는이 기술은 결정의 손상 정도를 조사하거나 격자에서 대체 또는 간질 종의 양을 결정할 수 있습니다.

EAG는 중이온 입자가속기 및 양성자 가속기와 함께 RBS를 사용하여 박막을 분석하는 데있어 세계 최고 수준의 경험을 보유하고 있습니다. 모든 유형의 박막재료(oxides, nitrides, silicides, high/low-K dielectrics, metal films, compound semiconductors, dopants)에 대한 EAG의 풍부한 경험은 빠른 결과보고, 결과 정확성, 고품질의 고객대응 서비스를 가능하게 합니다.

RBS 관련 자료 : 분석기기

RBS 관련 자료 : 분석이론

RBS의 이상적인 사용

  • 박막의 조성과 두께
  • 면적당 함량 측정 (atoms / cm2)
  • 박막 밀도 측정 (두께를 알고 있을 경우)

장점

  • 비파괴 조성 분석
  • 표준물질이 필요없는 정량
  • 불균일하거나 대형 시료를 비롯한 전체 웨이퍼 분석 (300 mm 까지)
  • 도체 및 절연체 분석
  • 수소 분석 가능 (HFS 모드 사용시)
  • 경원소 대한 높은 감도 (NRA 모드 사용시)

제한 사항

  • 넓은 분석 영역 (~ 2mm)
  • 유용한 정보는 최고 ~ 1 μm 샘플로 제한됩니다.

RBS 기술 사양

  • 검출신호 : 후방 산란 He 원자
  • 검출원소 : B ~ U
  • 검출한계 : 0.001-10 at %
  • 심도 분해능 : 100-200 Å
  • 이미징 / 매핑 : 아니
  • 평면 분해능 / 샘플링 프로브 크기 : > = 2mm

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