Rutherford Backscattering Spectrometry (RBS)

RBS(Rutherford Backscattering Spectrometry)는 합성박막 분석에 사용되는 이온 산란 분석기술입니다 RBS는 표준물질을 사용하지 않고도 정량분석이 가능한 독특한 분석법이며, RBS 분석중에는 고 에너지 (MeV) He2+ 이온 (즉, 알파 입자)이 샘플로 향하고 후방 산란 된 He의 에너지 분포 및 수율2+ 주어진 각도에서 이온이 측정됩니다. 각 요소에 대한 후방 산란 단면이 알려져 있기 때문에 두께가 1μm 미만인 필름에 대해 얻은 RBS 스펙트럼에서 정량적 조성 깊이 프로파일을 얻을 수 있습니다.

원소 조성 외에도 RBS를 사용하여 단결정 샘플의 결정질 품질에 대한 정보를 얻을 수 있습니다. "채널링(channeling)"이라고 하는 이 기술은 결정의 손상 정도를 조사하거나 격자에서 치환 또는 간극 종의 양을 결정할 수 있습니다.

EAG는 펠렛 론 및 탄데 트론 기기를 사용하여 Rutherford 후방 산란 분광법을 사용하여 박막을 분석하는 데있어 세계적인 수준의 경험을 보유하고 있습니다. 모든 유형의 분석에 대한 EAG의 경험  박막 (산화물, 질화물, 실리사이드, 고 / 저 -K 유전체, 금속 막, 화합물 반도체 도펀트)을 사용하면 처리 시간이 단축되고 정확한 데이터를 얻을 수 있으며 고품질의 개인 대 개인 서비스가 가능합니다.

RBS 관련 자료 : 분석기기

RBS 관련 자료 : 분석이론

Rutherford 후방 산란 분광법의 이상적인 사용

  • 박막의 조성과 두께
  • 면적당 함량 측정 (atoms / cm2)
  • 박막 밀도 측정 (두께를 알고 있을 경우)

장점

  • 비파괴 조성 분석
  • 표준물질이 필요없는 정량
  • 도체 및 절연체 분석
  • 수소 분석 가능 (HFS 모드 사용시)
  • 경원소 대한 높은 감도 (NRA 모드 사용시)

제한 사항

  • 넓은 분석 영역 (~ 2mm)
  • 유용한 정보는 최고 ~ 1 μm 샘플로 제한됩니다.

Rutherford 후방 산란 분광법 기술 사양

  • 검출신호 : 후방 산란 He 원자
  • 검출원소 : B ~ U
  • 검출한계 : 0.001-10 at %
  • 심도 분해능 : 100-200Å
  • 이미징 / 매핑 : 아니
  • 평면 분해능 / 샘플링 프로브 크기 : 2mm 이상

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