X 선 형광 (XRF)

X 선 형광 (X-ray Fluorescence, XRF)은 재료의 원소 조성을 정량하고 막 두께와 조성을 측정하는 데 사용되는 비파괴 기술입니다. X 선은 시료를 여기시키는 데 사용되어 현재 존재하는 원소의 에너지 특성을 가진 X 선의 방출을 유발합니다.

XRF는 스마트 차트 벌크 재료 및 필름의 구성 및 불순물을 측정합니다.

XRF는 ppm 범위에서 100 %까지의 농도에서 BU의 원소를 검출 할 수 있습니다. 또한이 기술을 사용하여 구리 측정이 가능합니다. X-ray가 샘플을 여기하는 데 사용되기 때문에 재료에 따라 XNUMX 나노 미터 미만에서 수 밀리미터까지의 분석 깊이를 얻을 수 있습니다. 적절한 참조 표준 또는 표준을 사용할 수없는 경우 기본 매개 변수 (FP)를 사용하여 XRF는 원소 조성 대부분의 재료.

XNUMX 개의 XRF 시스템을 사용할 수 있습니다. 파장 분산 기기 (WDXRF) 및 에너지 분산 기기 (EDXRF) 주요 차이점은 엑스레이가 분리되고 측정되는 방식입니다. WDXRF는 스펙트럼 겹침이 적고 배경 강도가 향상되는 매우 우수한 에너지 분해능을 제공합니다. EDXRF는 작은 면적 분석 또는 매핑을 가능하게하는 높은 신호 처리량을가집니다.

XRF의 이상적인 사용

첫째, 옹스트롬 범위에서 최대 수 마이크로 미터까지 필름 두께 및 조성 측정
둘째, 유리, 금속, 세라믹, 폴리머 또는 잔류 물을 포함한 대부분의 재료에서 일반적인 원소 식별 및 정량화
셋째, 특정 금속 합금 또는 유리 유형 식별
넷째, 고체 또는 액체 샘플의 오염 물질에 대한 미량 수준 분석 용
다섯째, 폴리머에서 무기 충전제를 식별하고 정량화 할 때
또한 대형 스퍼터 타겟의 비파괴 분석
마지막으로 최대 300mm 직경의 웨이퍼에있는 박막의 비파괴 분석

장점

비파괴
- 전체 웨이퍼 분석 (최대 300mm), 웨이퍼 조각 및 작은 샘플
- 매우 큰 샘플의 EDXRF 분석 : 15cm x 15cm x 10cm (LxWxH)
- 매우 큰 샘플의 WDXRF 분석 : 직경 400mm, 두께 50mm, 질량 30kg
다층 필름 스택의 두께와 조성
~ 30µm (EDXRF) 또는 500µm (WDXRF)의 작은 영역을 분석 할 수 있습니다.
고체 물질 및 일부 액체를 분석 할 수 있습니다.
재료에 따라 1 나노 미터 미만에서 수 밀리미터 범위의 샘플링 깊이

제한 사항

첫째, EDXRF를 사용하여 Na보다 가벼운 요소를 감지 할 수 없습니다.
둘째, WDXRF를 사용하여 B보다 가벼운 요소를 감지 할 수 없습니다 (Be는 감지 할 수 있지만 구리에서만 감지 됨).
셋째, 가장 높은 정확도의 측정에는 테스트 샘플과 구성 및 / 또는 두께가 유사한 참조 표준이 필요합니다.

XRF 기술 사양

검출신호 : 엑스레이
검출원소 : BU (WDXRF); Na-U (EDXRF)
검출한계 : 대부분의 원소에 대해 1ppm – 100ppm
이미징 / 매핑 : 예 (최대 6 × 10cm 영역)
평면 분해능 / 샘플링 프로브 크기 : 500µm, 1mm, 6mm, 10mm, 20mm, 26mm, 30mm 또는 37mm (WDXRF); 30µm, 1mm, 2mm (EDXRF)