能量色散X射线光谱(EDS)是一种化学分析方法,可以与两种主要的电子束技术相结合 of 扫描电子显微镜(SEM), 透射电子显微镜(TEM)和扫描透射电子显微镜(STEM).
EDS 与这些成像工具结合使用时,可以从直径小至 1 纳米 (STEM) 的区域提供空间分辨元素分析。 在 SEM 中,分析体积更大,体积范围可能从 0.1 到 3 微米。 电子束对样品的撞击会产生 X 射线,这些 X 射线是样品上存在的元素的特征。 EDS分析可用于确定各个点的元素组成,线扫描或绘制来自成像区域的元素的横向分布。
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