能量色散X射线光谱（EDS）

能量色散X射线光谱（EDS）是一种化学分析方法，可以与两种主要的电子束技术相结合 of 扫描电子显微镜（SEM）, 透射电子显微镜（TEM）和扫描透射电子显微镜（STEM）.

EDS 与这些成像工具结合使用时，可以从直径小至 1 纳米 (STEM) 的区域提供空间分辨元素分析。 在 SEM 中，分析体积更大，体积范围可能从 0.1 到 3 微米。 电子束对样品的撞击会产生 X 射线，这些 X 射线是样品上存在的元素的特征。 EDS分析可用于确定各个点的元素组成，线扫描或绘制来自成像区域的元素的横向分布。

EDS的理想用途

• 使用SEM / TEM成像的小区域的元素组成
• 缺陷识别/映射

我们的强项

• 快速“第一眼”成分分析
• 用途广泛，价格低廉，可广泛使用
• 一些样品的定量（平坦，抛光，均匀）

限制

• 通常，可以进行半定量分析
• 样品量必须与SEM / TEM兼容
• 样品必须是真空兼容的（不适用于湿有机材料）
• 分析（和涂层）可能会限制后续的表面分析
• 可能有许多元素峰重叠，需要仔细检查光谱

EDS技术规格

• 检测到信号： 特征X射线
• 检测到的元素： BU
• 检测限： 0.1-1 at％
• SEM采样深度： 0.1-3μm
• STEM采样深度：  〜0.1微米（箔厚度）
• 成像/绘图和线扫描： 有
• 横向分辨率： STEM-EDS 为 1-2 nm，SEM EDS 为 ≥0.1 μm