电感耦合等离子体发射光谱（ICP-OES）可以提供多种样品类型（包括粉末，固体，液体和悬浮液）的定量本体元素组成。 通常，在封闭的微波系统中使用酸的组合来溶解或消解固体样品，从而保留潜在的挥发性分析物。 然后将所得的样品溶液雾化到感应耦合氩气等离子体的核中，在该等离子体中，温度达到约9000K。 在这样的高温下，雾化的溶液被汽化，被分析物被雾化，离子化并被热激发。 然后可以使用光学发射光谱仪（OES）检测并定量分析物种类，该光谱仪测量从热激发的分析物原子或离子发出的元素特定特征波长处的辐射强度。 通过与校准标准比较，将强度测量值转换为元素浓度。 当没有标准品时，该技术对于定量化学分析特别有用。
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