X射线反射率(XRR)是一种与X射线衍射(XRD)相关的技术,正成为一种广泛使用的工具。 描述 薄膜和多层结构. 以非常小的衍射角进行 X 射线散射可以表征低至几十 Ǻ 厚的薄膜的电子密度分布。 使用反射率模式的模拟,高度精确地测量晶体或非晶态的厚度、界面粗糙度和层密度 薄膜 并且可以获得多层。 与光学椭偏仪不同,不需要有关薄膜光学特性的先验知识或假设
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