X射线荧光(XRF)是一种非破坏性技术,用于量化材料的元素组成并测量薄膜厚度和成分。 X射线用于激发样品,导致X射线的发射具有存在的元素的特征能量。
XRF是 智能图表 并测量散装材料和薄膜的成分和杂质。
XRF能够检测BU中浓度范围从ppm到100%的元素。 另外,使用该技术可以测量铜。 由于使用X射线激发样品,因此根据材料的不同,可以实现从不到纳米到几毫米的分析深度。 通过使用适当的参考标准或基本参数(FP)(当标准不可用时),XRF可以准确地量化 元素组成 大多数材料。
有五个XRF系统可用,四个 波长色散仪 (WDXRF)和能量分散仪(EDXRF) 主要区别在于X射线的分离和测量方式。 WDXRF具有非常好的能量分辨率,可以减少光谱重叠并改善背景强度。 EDXRF具有更高的信号吞吐量,可实现小面积分析或映射。
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