나노 수준의 높은 검출 감도 – APT
매일 새로운 아이디어나 새로운 유형의 기술이 탄생합니다. 이러한 발전은 소비자 전자 제품, 반도체, 태양열, 배터리 등 우리의 미래를 형성하고 삶의 질을 향상시키는 데 도움이 됩니다. 새로운 기술과 함께 신뢰할 수 있는 고품질 제품을 개발하기 위한 수년간의 연구와 테스트가 수반됩니다. 기술의 혁신은 오늘날 사용되는 구성 요소의 소형화를 추진하여 이러한 신제품을 더 작게 만들면서도 여전히 큰 힘을 실어줍니다!
새로운 기술과 더 작은 구성 요소는 이러한 크기를 지원하지만 높은 감지 감도를 제공하기 위해 분석 테스트가 필요합니다. 투과 전자 현미경 (TEM) 나노 수준에 대한 훌륭한 기술입니다. 그러나 높은 감도를 제공하지 않습니다. 2 차 이온 질량 분석법 (SIMS) 높은 감도를 지원합니다. 그러나 작은 기능은 분석할 수 없습니다. 원자 프로브 단층 촬영 (APT) 둘 다 제공합니다!
APT 란 무엇입니까?
APT(Atom Probe Tomography)는 3D(XNUMX차원) 공간 이미징과 화학 조성 측정을 동시에 고감도로 제공하는 나노 스케일 재료 분석 기술입니다. APT는 결정립계를 따른 원소의 분리에 대한 특정 정보를 제공하고, 도펀트, 나노 규모의 침전물을 이해하고, 가벼운(저질량) 원소를 분석하는 데 매우 유용합니다.
APT의 장점
다른 기술은 입자 경계를 따라 요소의 분리를 식별할 수 없지만 APT는 이 작업에 적합합니다. 제품/공정 개발 중에 이러한 유형의 분석은 강도, 탄성 및 변형 면에서 최종 제품에 영향을 미칠 수 있는 재료 특성이 어떻게 영향을 받는지 결정하는 데 도움이 될 수 있습니다. 요소의 분리는 피로, 균열 및 제품 고장을 유발하는 노화의 징후이기도 합니다.
도핑은 특정 레이어에 요소를 추가하는 것입니다. 도펀트는 전자 속성을 변경합니다. 그러나 도펀트에서 클러스터링이 발생하여 성능에 영향을 줄 수 있습니다. 반도체 장치에서 APT는 공정 개발 중에 도핑이 제대로 이루어졌는지 확인하는 동시에 작은 영역 내에서 원소의 농도를 식별하는 데 도움이 될 수 있습니다. 동일한 분석은 오염을 결정하려고 할 때 실패에 도움이 됩니다.
리튬, 베릴륨, 탄소, 질소 및 산소와 같은 더 가벼운 원소는 다른 기술을 사용하여 나노 규모로 분석하기 어렵지만 APT는 도움이 될 수 있습니다. 리튬의 경우 입자 경계를 따른 분리가 배터리의 움직임을 방해하고 배터리 지속 시간에 직접적인 영향을 줄 수 있습니다. 스테인리스강 및 유리에 사용되는 붕소의 경우 분리가 해당 영역의 강도, 파괴 또는 피로에 영향을 미칠 수 있습니다.
APT는 프로세스 개발 및 장애 분석 시 철저한 정보를 제공할 수 있는 고급 도구입니다. Eurofins EAG에서는 고객에게 최고의 데이터를 제공하기 위해 새로운 도구와 기술에 투자합니다. 우리는 현재 미국에서 APT(Atom Probe Tomography) 서비스를 제공하는 유일한 상업 연구소이며, 이는 우리가 제공해야 하는 많은 기술과 서비스 중 하나일 뿐입니다. 다년간의 전문 지식, 지식 및 광범위한 분석 도구를 통해 고객과 협력하여 문제를 식별하고 해결합니다.
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