电子能量损失光谱(EELS)是一种在与纳米级结合时提供纳米级元素信息的技术 透射电子显微镜(TEM)和扫描透射电子显微镜(STEM). 入射电子通过样品时,其能量会发生改变(降低)。 可以使用EELS表征这种能量损失,以提供元素识别。 相比 能量色散X射线光谱(EDS), EELS 提供改进的信噪比、更好的空间分辨率(低至 1 nm)、更高的能量分辨率(对于 EELS,<1 eV)以及对较低原子序数元素的更高灵敏度。 对于某些元素,可以获得化学键合信息。
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