电子能量损失谱（EELS）

电子能量损失光谱（EELS）是一种在与纳米级结合时提供纳米级元素信息的技术透射电子显微镜（TEM）和扫描透射电子显微镜（STEM）. 入射电子通过样品时，其能量会发生改变（降低）。可以使用EELS表征这种能量损失，以提供元素识别。相比能量色散X射线光谱（EDS）, EELS 提供改进的信噪比、更好的空间分辨率（低至 1 nm）、更高的能量分辨率（对于 EELS，<1 eV）以及对较低原子序数元素的更高灵敏度。对于某些元素，可以获得化学键合信息。