电子能量损失谱(EELS)

电子能量损失光谱(EELS)是一种在与纳米级结合时提供纳米级元素信息的技术 透射电子显微镜(TEM)和扫描透射电子显微镜(STEM). 入射电子通过样品时,其能量会发生改变(降低)。 可以使用EELS表征这种能量损失,以提供元素识别。 相比 能量色散X射线光谱(EDS), EELS 提供改进的信噪比、更好的空间分辨率(低至 1 nm)、更高的能量分辨率(对于 EELS,<1 eV)以及对较低原子序数元素的更高灵敏度。 对于某些元素,可以获得化学键合信息。

EELS的理想用途

  • 元素识别和绘图
  • 元素识别(斑点分析,线扫描,2D化学图)
  • 化学指纹(限量病例)

我们的强项

  • 比EDS更多的信号收集
  • 特别适用于Si / C / O / N系统
  • 1 nm探针尺寸(EDS~1-3 nm)
  • 更高的能量分辨率,有时可以提供化学信息
  • 对低Z元素的灵敏度更高

限制

  • 设置时间更长
  • 多元素检测有时需要多次设置
  • 背景和峰形很复杂
  • 高Z元素的良好检测可能是有问题的

EELS技术规格

  • 检测到的元素: BU
  • 检测限: 0.5%
  • 横向分辨率/探头尺寸: 1纳米

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